1.定員:
1220×2440×3mm(厚さ以下)のステンレス鋼板を2〜3枚/炉で一度にコーティングできます。 1300×3100×50mm(厚さ)未満のフレームおよびスペアパーツをコーティングすることもできます。
2。 コーティング音:
TiN(ゴールド)、ローズ、コーヒー、ジルコニウム、ガンブラック、シャンパンなど
3。 機器パラメータ:
1)最終的な真空度は7×10-4pa(新しい機器、空の炉、低温状態)です。
2)圧力保持:限界真空から0.5 Paまで、1時間以上。
3)作業サイクル:大気から6.8×10-3pa≤15minまでの排気。 (新しい機器、空の炉、低温状態)
項目 | 説明 | 量 | ||
真空室 |
チャンバーサイズ | 横 :Ф2200× 長さ3600mm | ||
真空チャンバー構造 | 水平型真空チャンバーを採用し、材質はSUS304ステンレス鋼です。 二重層冷却水ジャケット、室内温度を確保するために水ジャケットに迂回チャネルがあります。 側壁には32個のアークソースホール、4個の観測ホール、周辺には加熱用ホール、底部には充填ホールが残されています。 |
1個 | ||
ライナープレート | 厚さ0.8mmのステンレス製ライナー | 2セット | ||
回転システム | リスケージ型フレーム構造、調整可能な回転速度、屋内リスケージ ポジショニングトロリーを 装備 |
2セット | ||
ポンプシステム |
拡散ポンプ | KT-1000 拡散ポンプ2セットを使用 |
2セット | |
ルーツポンプ |
ZJP-1200ルーツポンプ |
2個 | ||
機械ポンプ |
2X-15機械ポンプ |
2個 | ||
スライドバルブポンプ |
H150スライドバルブポンプ |
2個 |
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