ZY-1110 Big Arcion真空コーティングマシンは、IKSが独自に開発した超硬質フィルムイオンコーティングマシンであり、独自の新しいフィルターアークソースコーティングテクノロジー、プラズマエンハンストアノードアシストコーティングテクノロジー、炉内のプラズマの経路と分布を計画しています。ターゲット材料のイオン化率が向上しました。ターゲットの表面が均一にエッチングされるように、コーティングの結合力を最適化しながらコーティング表面を滑らかでコンパクトにし、コーティングの厚さと均一性を確保します。その間、新技術の適用はコーティングの効率を改善し、エネルギーと運用コストを節約します。
機器パラメーター
チャンバーサイズ | Ф1180XH1050 | 有効スペース | Ф800XH700 |
応用技術 | IET +ビッグアーク | ターゲット材料の量 | 12個×φ160 |
標準コーティング | TiN、CrN、AlTiNなど | その他の複合コーティング | TiAlCrN、TiSiN、TiAlCNなど |
生産サイクル | 4-6時間/炉 | 全体寸法 | L5800XW2000XH2100mm |
アプリケーションの範囲 | ホブ、ドリル、スティックフライス、マイクロドリル、カッターグレインなど |
応用
