光学コータ

光学コータ

用途:眼鏡、反射鏡、携帯電話のバックボード、保護カバー、光通信、光ディスプレイなど
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制品の詳細

設備概要

 

IKS-OPT2700は大面積光学フィルムコーティング用に設計されています、それは電子ビーム蒸着コーティング機です。 塗装機システムは、真空チャンバー、真空ポンプ、真空検出制御、基板加熱システム、電子ビーム蒸着システム、イオン源支援蒸着システム、抵抗蒸着システム、膜厚モニタリングシステム、作業ガス流量制御システム、作業 PLC によって制御される部分の回転システムそして自動コーティング

蒸着材料は、YF (フッ化イットリウム)、F Pr(フッ化プラセオジム)、Ge(ゲルマニウム)、ZnS(硫化亜鉛)、MgF (フッ化マグネシウム)、TiO (二酸化チタン)のような希少金属で一般に使用されている。 SiO (二酸化ケイ素)、ZrO (ジルコニア)、Co(コバルト)、Ga(ガリウム)、Se(セレン)および他の金属。 Cu(銅)、Mo(モリブデン)、Si(シリコン)、Ge(ゲルマニウム)および他の金属は、反射体の光学材料に一般的に使用されている。

 

それは、可視光カラーフィルム、アルミニウム反射フィルム、AF指紋防止フィルム、低融点有機フィルム、可視光分光フィルム、可視光反射防止フィルムなどであり得る。

 

装置パラメータ

チャンバーサイズ

Ф2700×H1670mm 10.5m 3

カルーセル

2650 * H420mm

真空度

到達真空度:6×10 -4 Pa( 加熱せずに24時間負荷

重量

8000kg、床重量 1000kg / m 2

漏れ率

4×10 -3 Pa×L / S(ヘリウムリークチェック)

温度

250℃までの室温で、温度均一性±5%

ワーキングバキューム

6×10 -3 Pa( 自動プロセス起動

電源

三相、380V 50Hz 60-100KW

低真空

10分 10Pa

水冷

商工会議所の流れ 4000L / H 、ポンプの流量 1800L / H、冷凍庫の流量 1600L / H

高真空

6分 8×10 -3 Pa

温水

蒸発源1800L / H、35〜60℃

真空測定

全プロセスモニタリングとリアルタイムポイント収集

床面積

L6×w5.5×H3.5m

応用

眼鏡、反射鏡、携帯電話のバックボード、保護カバー、光通信、光ディスプレイなど

応用

光学4

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