設備概要
IKS-OPT2700は大面積光学フィルムコーティング用に設計されています、それは電子ビーム蒸着コーティング機です。 塗装機システムは、真空チャンバー、真空ポンプ、真空検出制御、基板加熱システム、電子ビーム蒸着システム、イオン源支援蒸着システム、抵抗蒸着システム、膜厚モニタリングシステム、作業ガス流量制御システム、作業 PLC によって制御される部分の回転システムそして自動コーティング 。
蒸着材料は、ＹＦ ３ （フッ化イットリウム）、Ｆ ３ Ｐｒ（フッ化プラセオジム）、Ｇｅ（ゲルマニウム）、ＺｎＳ（硫化亜鉛）、ＭｇＦ ２ （フッ化マグネシウム）、ＴｉＯ ２ （二酸化チタン）のような希少金属で一般に使用されている。 ＳｉＯ ２ （二酸化ケイ素）、ＺｒＯ ２ （ジルコニア）、Ｃｏ（コバルト）、Ｇａ（ガリウム）、Ｓｅ（セレン）および他の金属。 Ｃｕ（銅）、Ｍｏ（モリブデン）、Ｓｉ（シリコン）、Ｇｅ（ゲルマニウム）および他の金属は、反射体の光学材料に一般的に使用されている。
それは、可視光カラーフィルム、アルミニウム反射フィルム、AF指紋防止フィルム、低融点有機フィルム、可視光分光フィルム、可視光反射防止フィルムなどであり得る。
装置パラメータ
チャンバーサイズ | Ф2700×H1670mm 、 10.5m 3 | カルーセル | 2650 * H420mm |
真空度 | 到達真空度：6×10 -4 Pa（ 加熱せずに24時間無負荷 ） | 重量 | 8000kg、床重量 ﹥ 1000kg / m 2 |
漏れ率 | ＜ 4×10 -3 Pa×L / S（ヘリウムリークチェック） | 温度 | 250℃までの室温で、温度均一性±5％ |
ワーキングバキューム | 6×10 -3 Pa（ 自動プロセス起動 ） | 電源 | 三相、380V 、 50Hz 、 60-100KW |
低真空 | 10分 ＜ 10Pa | 水冷 | 商工会議所の流れ ＞ 4000L / H 、ポンプの流量 ＞ 1800L / H、冷凍庫の流量 ＞ 1600L / H |
高真空 | 6分 ＜ 8×10 -3 Pa | 温水 | 蒸発源1800L / H、35〜60℃ |
真空測定 | 全プロセスモニタリングとリアルタイムポイント収集 | 床面積 | L6×w5.5×H3.5m |
応用 | 眼鏡、反射鏡、携帯電話のバックボード、保護カバー、光通信、光ディスプレイなど | ||
応用
