電子ビーム蒸着装置

制品の詳細

IKS-OPT2700 電子ビーム蒸着光学 コータ

l アプリケーション：

眼鏡、反射鏡、携帯電話のバックボード、保護カバー、光通信、光ディスプレイなど

l 設備概要

IKS-OPT2700は大面積光学フィルムコーティング用に設計されています、それは電子ビーム蒸着コーティング機です。塗装機システムは、真空チャンバー、真空ポンプ、真空検出制御、基板加熱システム、電子ビーム蒸着システム、イオン源支援蒸着システム、抵抗蒸着システム、膜厚モニタリングシステム、作業ガス流量制御システム、作業PLCによって制御される部分の回転システムそして自動コーティング。

蒸着材料は、フッ化イットリウム、フッ化プラセオジム、ゲルマニウム、硫化亜鉛、フッ化マグネシウム、二酸化チタン、二酸化ケイ素、ジルコニア、コバルト、ガリウム、セレンおよび他の金属のような希少金属で一般に使用されている。銅、モリブデン、ケイ素、ゲルマニウムおよび他の金属は、反射体の光学材料に一般的に使用されている。

それは、可視光カラーフィルム、アルミニウム反射フィルム、AF指紋防止フィルム、低融点有機フィルム、可視光分光フィルム、可視光反射防止フィルムなどであり得る。

l 設備の特徴

IKS-OPT2700大面積光学フィルムコーティングシステム、再最適化真空チャンバー構造、革新的な極低温ポンプレイアウト、安定したワークピース回転フレーム設計、高度な電子ビーム蒸着システム、調整可能な均一性調整装置およびヒト化自動コーティングプロセス制御を使用安定した真空プロセス環境は、最高のコーティングプロセスを得て、高品質のコーティングされた製品を手に入れました。

1.チャンバーサイズ;Ф2700×H1670	8.床面積：L6×w5.5×H3.5m
2.真空度：到達真空度：6×10 ^-4 Pa（加熱せずに24時間無負荷）	9.重量：8000kg、床重量 ﹥ 1000kg / m2
3.漏れ率：＜ 4×10 ^-3 Pa×L / S（ヘリウムリークチェック）	10.Temperature： 250 ℃ までの室温、温度均一性±5％
4.使用真空度：6×10 ^-3 Pa（自動プロセス起動）	11.電源：三相、380V 、 50Hz 、 60-100KW
5.低真空：10分＜ 10Pa	12.水冷：チャンバーフロー＞ 4000L / H 、ポンプ流量＞ 1800L / H、冷凍コンプレッサ＞ 1600L / H
6.高真空：6分＜ 8×10 ^-3 Pa	13.暖かい水：蒸発源1800L / H、35-60 ℃
7.真空測定：全工程モニタリングとリアルタイムポイント収集

l 技術パラメータ

膜厚モニタリング	1.PLC 統合制御2.精密成膜、0.01nm / s 3.高速熟成対応、電子銃との連携
フロー制御	制御範囲： 3〜100sccm 、 5-500sccm、イオン源との精密な連携、同期制御、流量制御、安定した出力、安定したイオンエネルギーは安定しています
電子ビーム源	タイプ：10KW、270度のたわみ。リップルが0.5％未満、正確な制御スポットの形状とサイズ、システム制御動作の安定性と高精度。ガンタイプ：タングステンフィラメント、丈夫なタイプ
抵抗蒸発源	タイプ：タングステンボートは加熱によって蒸発します。数量：2組の電極、設置を選択。特別なコーティングプロセスに適して、蒸発の機能を達成するために機能材料や金属材料を目指して
イオン源	タイプ：4KWホールイオン源、ハイビーム、広い発散角、取り外し可能なアノード、メンテナンスとクリーニングは非常に簡単です
制御システム	PCインターフェース：17インチ、1セット。 TPのタッチスクリーン：15 omcjes.1set。メインシステム：IKS自動プログラマブルロジックコントロール。 IKS PVDによって開発された自動プロセス制御システム、それはプロセスのリアルタイム記録と欠陥のフィードバックのためのインテリジェントなオペレーティングシステムです。完璧な統合、人間化された設計、そしてパーソナライズされたニーズを満たします。操作の制御
安全なデザイン	主回路保護スイッチ、接地保護、部品異常警報、システム動作リアルタイム監視保護