電子ビーム蒸着装置

電子ビーム蒸着装置

EB PVD光学コーティング機、用途:眼鏡、反射鏡、携帯電話のバックボード、保護カバー、光通信、光学ディスプレイなど
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制品の詳細

IKS-OPT2700 電子ビーム蒸着光学 コータ

l   アプリケーション:

 

眼鏡、反射鏡、携帯電話のバックボード、保護カバー、光通信、光ディスプレイなど

 

l   設備概要

 

IKS-OPT2700は大面積光学フィルムコーティング用に設計されています、それは電子ビーム蒸着コーティング機です。 塗装機システムは、真空チャンバー、真空ポンプ、真空検出制御、基板加熱システム、電子ビーム蒸着システム、イオン源支援蒸着システム、抵抗蒸着システム、膜厚モニタリングシステム、作業ガス流量制御システム、作業PLCによって制御される部分の回転システムそして自動コーティング。

蒸着材料は、フッ化イットリウム、フッ化プラセオジム、ゲルマニウム、硫化亜鉛、フッ化マグネシウム、二酸化チタン、二酸化ケイ素、ジルコニア、コバルト、ガリウム、セレンおよび他の金属のような希少金属で一般に使用されている。 銅、モリブデン、ケイ素、ゲルマニウムおよび他の金属は、反射体の光学材料に一般的に使用されている。

それは、可視光カラーフィルム、アルミニウム反射フィルム、AF指紋防止フィルム、低融点有機フィルム、可視光分光フィルム、可視光反射防止フィルムなどであり得る。


l   設備の特徴

 

IKS-OPT2700大面積光学フィルムコーティングシステム、再最適化真空チャンバー構造、革新的な極低温ポンプレイアウト、安定したワークピース回転フレーム設計、高度な電子ビーム蒸着システム、調整可能な均一性調整装置およびヒト化自動コーティングプロセス制御を使用安定した真空プロセス環境は、最高のコーティングプロセスを得て、高品質のコーティングされた製品を手に入れました。

 

1.チャンバーサイズ;Ф2700×H1670

8.床面積:L6×w5.5×H3.5m

2.真空度:到達真空度:6×10 -4 Pa( 加熱せずに24時間無負荷

9.重量:8000kg、床重量 1000kg / m2

3.漏れ率: 4×10 -3 Pa×L / S(ヘリウムリークチェック)

10.Temperature: 250 までの室温、温度均一性±5%

4.使用真空度:6×10 -3 Pa( 自動プロセス起動

11.電源:三相、380V 50Hz 60-100KW

5.低真空:10分 10Pa

12.水冷:チャンバーフロー 4000L / H 、ポンプ流量 1800L / H、冷凍コンプレッサ 1600L / H

6.高真空:6分 8×10 -3 Pa

13.暖かい水:蒸発源1800L / H、35-60

7.真空測定: 全工程モニタリングとリアルタイムポイント収集


l   技術パラメータ

膜厚モニタリング

 

1.PLC 統合制御2.精密成膜、0.01nm / s 3.高速熟成対応、電子銃との連携

フロー制御

制御範囲: 3〜100sccm 5-500sccm、 イオン源との精密な連携、同期制御、流量制御、

安定した出力、安定したイオンエネルギーは安定しています

電子ビーム源

タイプ:10KW、270度のたわみ。 リップルが0.5%未満、正確な制御スポットの形状とサイズ、システム制御動作の安定性と高精度。 ガンタイプ:タングステンフィラメント、丈夫なタイプ

抵抗蒸発源

タイプ:タングステンボートは加熱によって蒸発します。 数量:2組の電極、設置を選択。 特別なコーティングプロセスに適して、蒸発の機能を達成するために機能材料や金属材料を目指して

イオン源

タイプ:4KWホールイオン源、 ハイビーム、広い発散角、取り外し可能なアノード、メンテナンスとクリーニングは非常に簡単です

制御システム

PCインターフェース:17インチ、1セット。 TPのタッチスクリーン:15 omcjes.1set。 メインシステム:IKS自動プログラマブルロジックコントロール。 IKS PVDによって開発された自動プロセス制御システム、それはプロセスのリアルタイム記録と欠陥のフィードバックのためのインテリジェントなオペレーティングシステムです。完璧な統合、人間化された設計、そしてパーソナライズされたニーズを満たします 操作の制御

安全なデザイン

主回路保護スイッチ、接地保護、部品異常警報、システム動作リアルタイム監視保護

l   製品の優位性

技術革新

製品と技術革新の結果の合理的な統合は、コーティングシステムの安定した操作を達成するために、プロセス環境を改善する!

2.製品構造設計の革新は合理的で、しっかりと、簡潔で、メンテナンスは便利です! (ユーザースタンスデザイン!)

操作とオペレーティングシステムの革新的な開発、簡単な操作、効率的かつ実用的!

4.高品質のコーティングプロセスを達成し、効率、均一性、優れた再現性を向上させる製品とプロセス技術!

5.コーティングシステムの動作をインテリジェントに制御します。

安全システムの最適化、障害プロンプト、詳細な解決策を解決!

7.高効率、生産および管理コストの削減

 

技術的な特徴

1. 完璧なIKS技術と製品性能のシームレスなドッキング統合による製品設計、信頼性の高い、安定した作成

固定式、安全、インテリジェントコーティングシステム!

2. 真空捕捉、真空捕捉システムの再最適化設計、急速で安定した真空環境を満たすために!

3. 蒸発源とイオン源、合理的なレイアウトと高品質の処理技術、試運転技術、プロセスを達成するために

自動調整プロセス、革新的な電子ビーム構造、正確なレート保証により、材料の堆積をより正確かつ安定的に保証

4. 自動運転制御システム、正確で安定したシステムの新開発! 簡単セットアップ、簡単操作!

コーティング製品

opt270001

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