l アプリケーション：
眼鏡、反射鏡、携帯電話のバックボード、保護カバー、光通信、光ディスプレイなど
l 設備概要
IKS-OPT2700は大面積光学フィルムコーティング用に設計されています、それは電子ビーム蒸着コーティング機です。 塗装機システムは、真空チャンバー、真空ポンプ、真空検出制御、基板加熱システム、電子ビーム蒸着システム、イオン源支援蒸着システム、抵抗蒸着システム、膜厚モニタリングシステム、作業ガス流量制御システム、作業PLCによって制御される部分の回転システムそして自動コーティング。
蒸着材料は、フッ化イットリウム、フッ化プラセオジム、ゲルマニウム、硫化亜鉛、フッ化マグネシウム、二酸化チタン、二酸化ケイ素、ジルコニア、コバルト、ガリウム、セレンおよび他の金属のような希少金属で一般に使用されている。 銅、モリブデン、ケイ素、ゲルマニウムおよび他の金属は、反射体の光学材料に一般的に使用されている。
それは、可視光カラーフィルム、アルミニウム反射フィルム、AF指紋防止フィルム、低融点有機フィルム、可視光分光フィルム、可視光反射防止フィルムなどであり得る。
l 設備の特徴
IKS-OPT2700大面積光学フィルムコーティングシステム、再最適化真空チャンバー構造、革新的な極低温ポンプレイアウト、安定したワークピース回転フレーム設計、高度な電子ビーム蒸着システム、調整可能な均一性調整装置およびヒト化自動コーティングプロセス制御を使用安定した真空プロセス環境は、最高のコーティングプロセスを得て、高品質のコーティングされた製品を手に入れました。
1.チャンバーサイズ;Ф2700×H1670 | 8.床面積：L6×w5.5×H3.5m |
2.真空度：到達真空度：6×10 -4 Pa（ 加熱せずに24時間無負荷 ） | 9.重量：8000kg、床重量 ﹥ 1000kg / m2 |
3.漏れ率： ＜ 4×10 -3 Pa×L / S（ヘリウムリークチェック） | 10.Temperature： 250 ℃ までの室温、温度均一性±5％ |
4.使用真空度：6×10 -3 Pa（ 自動プロセス起動 ） | 11.電源：三相、380V 、 50Hz 、 60-100KW |
5.低真空：10分 ＜ 10Pa | 12.水冷：チャンバーフロー ＞ 4000L / H 、ポンプ流量 ＞ 1800L / H、冷凍コンプレッサ ＞ 1600L / H |
6.高真空：6分 ＜ 8×10 -3 Pa | 13.暖かい水：蒸発源1800L / H、35-60 ℃ |
7.真空測定： 全工程モニタリングとリアルタイムポイント収集 |
l 技術パラメータ
膜厚モニタリング
| 1.PLC 統合制御2.精密成膜、0.01nm / s 3.高速熟成対応、電子銃との連携 |
フロー制御 | 制御範囲： 3〜100sccm 、 5-500sccm、 イオン源との精密な連携、同期制御、流量制御、 安定した出力、安定したイオンエネルギーは安定しています |
電子ビーム源 | タイプ：10KW、270度のたわみ。 リップルが0.5％未満、正確な制御スポットの形状とサイズ、システム制御動作の安定性と高精度。 ガンタイプ：タングステンフィラメント、丈夫なタイプ |
抵抗蒸発源 | タイプ：タングステンボートは加熱によって蒸発します。 数量：2組の電極、設置を選択。 特別なコーティングプロセスに適して、蒸発の機能を達成するために機能材料や金属材料を目指して |
イオン源 | タイプ：4KWホールイオン源、 ハイビーム、広い発散角、取り外し可能なアノード、メンテナンスとクリーニングは非常に簡単です |
制御システム | PCインターフェース：17インチ、1セット。 TPのタッチスクリーン：15 omcjes.1set。 メインシステム：IKS自動プログラマブルロジックコントロール。 IKS PVDによって開発された自動プロセス制御システム、それはプロセスのリアルタイム記録と欠陥のフィードバックのためのインテリジェントなオペレーティングシステムです。完璧な統合、人間化された設計、そしてパーソナライズされたニーズを満たします 。 操作の制御 |
安全なデザイン | 主回路保護スイッチ、接地保護、部品異常警報、システム動作リアルタイム監視保護 |
l 製品の優位性
技術革新
製品と技術革新の結果の合理的な統合は、コーティングシステムの安定した操作を達成するために、プロセス環境を改善する！
2.製品構造設計の革新は合理的で、しっかりと、簡潔で、メンテナンスは便利です！ （ユーザースタンスデザイン！）
操作とオペレーティングシステムの革新的な開発、簡単な操作、効率的かつ実用的！
4.高品質のコーティングプロセスを達成し、効率、均一性、優れた再現性を向上させる製品とプロセス技術！
5.コーティングシステムの動作をインテリジェントに制御します。
安全システムの最適化、障害プロンプト、詳細な解決策を解決！
7.高効率、生産および管理コストの削減
技術的な特徴
1. 完璧なIKS技術と製品性能のシームレスなドッキング統合による製品設計、信頼性の高い、安定した作成
固定式、安全、インテリジェントコーティングシステム！
2. 真空捕捉、真空捕捉システムの再最適化設計、急速で安定した真空環境を満たすために！
3. 蒸発源とイオン源、合理的なレイアウトと高品質の処理技術、試運転技術、プロセスを達成するために
自動調整プロセス、革新的な電子ビーム構造、正確なレート保証により、材料の堆積をより正確かつ安定的に保証
4. 自動運転制御システム、正確で安定したシステムの新開発！ 簡単セットアップ、簡単操作！
コーティング製品
