（IBADまたはIBED）は、イオンビームの注入とガスデポジションデポジション技術を組み合わせた複合表面イオン処理技術であり、イオンビームの表面処理最適化のための新技術です。この複合成膜技術は、イオン注入によるカスケード衝突による界面での膜とマトリックスの混合を生じさせ、遷移層を生成して強固に結合するため、イオンビームの衝突がイオン注入技術とコーティング技術を組み合わせた新しい表面コンポジットイオン処理技術の開発が重要である。
利点：
イオンビームアシスト蒸着は、プラズマを発生させるために真空チャンバ内でガス放電を必要とせず、10-2pa
中程度のコーティングはガス汚染を減少させる。
基本的なプロセスパラメータ（イオンビームエネルギー、イオンビーム密度）はパラメータであり、ガスフロー制御のようないくつかの非電気的パラメータは一般的に必要ではなく、膜層の成長を容易に制御し、組成、構造フィルムのプロセス再現性を向上させる。
3.ワーク表面は、低温（<>
4.イオンビームアシスト蒸着は、室温で制御される非平衡プロセスである。室温で高温相、準安定相および非晶質合金などの新しい機能膜を得ることができる。
