ZY-1110 Big Arcマルチアークイオン真空コーティングマシンは、IKSが自己開発した超硬質フィルムイオンコーティングフィルムマシンであり、独自の新しいフィルターアークソースコーティングテクノロジー、プラズマ強化およびアノードアシストコーティング テクノロジー、ルート、および配布を採用しています。炉内プラズマの計画、ターゲット材料のイオン化率の向上、ターゲットの表面が均一にエッチングされるように、コーティングの結合力を最適化しながらコーティング表面が滑らかでコンパクトになるように、コーティングを確実にします厚さと均一性。 一方、新技術の適用はコーティングの効率を改善し、エネルギーと運用コストを節約します。
機器パラメーター
チャンバーサイズ | Ф118 0XH 10 50 | 有効スペース | Ф80 0XH 70 0 |
応用技術 | IET +ビッグアーク | ターゲット材料の量 | 12個 × φ160 |
標準コーティング | TiN、CrN、AlTiNなど | その他の複合コーティング | TiAlCrN、TiSiN、TiAlCNなど |
生産サイクル | 4 -6 時間/炉 | 全体寸法 | L 58 00XW2 0 00XH2 1 00mm |
アプリケーションの範囲 | 棒フライス、マイクロドリル、カッターグレインなど | ||
応用
