機能: 小さく、簡単な部品、簡単な定期的なメンテナンス、コーティング ベース レシピの単純なインターフェイスをロード/アンロードも広範なアプリケーションに合わせたシステムを作る。それ広く使用できます金型・機械部品等の表面強化の寿命を拡張します。・大学、研究所、研究機関での教育と科学の研究に特に適しています。
仕様
真空チャンバー φ 800xH500
効果的なスペース φ 450xH350 をコーティング
ワーク × 品質 φ 150x8PCS の最大径
スパッタリングの陰極 1HCD + 4ARC
電圧・ Hz 380 v 50 Hz の実際の電力 30 kw
HCD + アークの技術ターゲット 4 個入
到達圧力 5 x 10 -4 Pa 漏水率 0.5Pa/h
アプリケーション:
