前書き
TYシリーズ化合物分子ポンプは、ターボ分子ポンプとプレートドラッグポンプから構成されています。 ターボ分子ポンプは、分子流中に高い脱気量と高い圧縮比を特徴とします。 ドラッグポンプは、高い圧縮強度で高速かつ高い圧縮比を特徴とする。 両方のポンプの利点があります。 その後、これらは化合物分子ポンプの適用範囲を拡大する。
化合物分子ポンプは、ポンプで汲み上げられたガスのための特別な必要条件を有しておらず、メモリトレースをもたない。 高分子量ガスの圧縮比が高いため、ポンプはコールドトラップとオイルバッフルを装備することなく、きれいな高真空と高真空を作り出すことができます。 複合分子ポンプは、エレクトロニクス、冶金、化学、科学技術研究、真空技術などの分野で使用できます。
構造の特徴
TYFB-Zグリース潤滑用分子ポンプは、その冷却方法として水冷式または空冷式の精密軸受をサスペンダとして使用しています。 回転子の動作は、機械の動的平衡の後で安定している。 三相マウスケージ型モータは、ポンプドライバとして使用されます。 グリース潤滑はベアリングの潤滑に使用されますが、この方法は簡単で信頼性が高く、設置に必要な角度空間の要件を満たすことができます。
仕様
高真空フランジ | 200 CF | 200 ISO-K | |
バッキングパイプフランジ | 40 KF | ||
保護ガス充填フランジ(防食) | 16 KF | ||
ポンプ速度L / S | 1300 | ||
圧縮比 | N2 | > 109 | |
H2 | > 1X104 | ||
最高圧力(Pa) | <> | <> | |
回転数(rpm) | 24000 | ||
ベアリング使用 | グリース潤滑セラミックベアリング | ||
振動値 | ≤0.1μm | ||
ランニングタイム(分) | 5 | ||
(推奨)バッキングポンプ(L / S) | 8-15 | ||
冷却モード | 水冷(空冷) | ||
冷却水温度(℃) | ≦20℃ | ||
冷却水流量(L / min) | 1 | ||
設置場所 | 任意の角度 | ||
ポンプ重量(kg) | ≈27 |
利点
●振動や騒音が少ない。
●高真空または超高真空を容易に得ることができます。
●高い安全性と安定性のためのローターの特別な設計。
●裏張りには高い耐圧力があります。
応用
TYFB-1300Zグリース潤滑用分子ポンプは、高エネルギー加速器、制御された熱核反応炉、プラズマ物理学、表面物理学および分析機器、半導体および半導体の研究など、エレクトロニクス、冶金、化学工業および科学研究などの真空分野で広く使用できます。フラットパネルディスプレイ、太陽電池、真空コーティング、真空精錬などの分野で使用されている。
TYFB-1300Zグリース潤滑用分子ポンプのポンプ速度曲線
圧縮比の曲線 TYFB-1300Zグリース潤滑用分子ポンプを窒素と水素に変換
フランジ200CFで接続するTYFB-Zグリース潤滑化合物分子ポンプ高真空のサイズ
フランジ200 ISO-Kで接続するTYFB-Zグリース潤滑化合物分子ポンプ高真空のサイズ
フランジに接続するTYシリーズ化合物分子ポンプバッキングのサイズ概略図
TYFB-1300Z化合物分子ポンプ高真空フランジ接続サイズ
ポンプタイプ | TYFB-1300Z | |
高真空フランジタイプ | 200 CF | 200 ISO-K |
D1 | φ253 | φ240 |
D2 | φ267 | φ267 |
D3 | □167.6 | □167.6 |
L1 | 142 | 142 |
L2 | 152 | 152 |
H1 | 393 | 393 |
H2 | 108 | 108 |
H3 | 135.5 | 135.5 |
H4 | 104 | 104 |
スタンドポール用ネジ穴 | 4-M8 | 4-M8 |