前書き
TYFB-1600化合物分子ポンプは、ターボ分子ポンプとプレートドラッグポンプから構成されています。 ターボ分子ポンプは、分子流中に高い脱気量と高い圧縮比を特徴とします。 ドラッグポンプは、高い圧縮強度と高い脱気量と高い圧縮比を特徴としています。 両方のポンプの利点があります。 その後、これらは化合物分子ポンプの適用範囲を拡大する。
構造特徴
TYFB-1600化合物分子ポンプは、その冷却方法として水冷式または空冷式の精密軸受をサスペンダとして使用しているため、空冷ポンプの作動温度は28℃以下でなければなりません。 ポンプ動作は、ロータの動的平衡の後に安定している。 マウスケージタイプの三相モータがポンプドライバとして使用されます。 コーン・ホール・アクスルは潤滑剤を自動的に吸収してベアリングを潤滑しますが、この方法は簡単で信頼性が高く、分子ポンプを垂直に設置できるだけであることを決定します。
仕様
高真空フランジ（mm） | 250 CF / 250 ISO-K | ||
バッキングパイプフランジ（mm） | 50 KF | ||
ポンプ速度l / s（空気中） | 1600 | ||
圧縮比 | N2 | > 109 | |
H2 | > 8X104 | ||
最高圧力（Pa） | <> | <> | |
回転数（rpm） | 21000 | ||
振動値 | ≤0.15μm | ||
ランニングタイム（分） | 5.5 | ||
ランニングダウンタイム（分） | 8 | ||
（推奨）バッキングポンプ（L / S） | 15 | ||
冷却モード | 水冷（空冷） | ||
冷却水温度（℃） | ≤25 | ||
冷却水流量（L / min） | 1 | ||
ポンプ本体の焼成温度（℃） | <> | ||
ヒーターのパワー（w） | <> | ||
ヒーター入力電圧（V） | AC220 | ||
設置場所 | 垂直±5° | ||
ポンプ重量（kg） | ≒39 | ||
利点
●ガスを排出するための特別な要件がなく、メモリトレースがありません。
コールドトラップとオイルバッフルを装備することなく、非常にきれいな高真空と高真空を作り出すことができます。
●大きなポンプ速度と高い圧縮比
●高効率、低エネルギー消費、小型振動、低騒音。
●構造が簡単で操作も簡単
●特殊な冷却システムによる良好な放熱。
応用
TYFB-1600化合物分子ポンプは、エレクトロニクス、冶金、化学、光起電、照明、航空宇宙、科学技術研究、半導体、エネルギー、軍事、レーザー、家電、材料、自動車および真空技術の他の分野で広く使用されています。
TYFB-1600化合物分子ポンプの構造図
TYFB-1600化合物分子ポンプの真空速度曲線の真空速度曲線
TYFB1600化合物分子ポンプの窒素および水素への圧縮比曲線
TYFB-1600化合物分子ポンプの取り付け寸法図
フランジ付きTYFB-1600化合物分子ポンプバッキングのサイズ模式図
ポンプタイプ | TYFB-1600 | |
高真空フランジタイプ | 250 CF | 250 ISO-K |
D1 | φ305 | φ290 |
D2 | φ296 | φ296 |
D3 | □183.8 | □183.8 |
L1 | 161 | 161 |
L2 | 166 | 166 |
H1 | 394 | 394 |
H2 | 110 | 110 |
H3 | 142.5 | 142.5 |
H4 | 104 | 104 |
スタンドポール用ネジ穴 | 4-M8 | 4-M8 |