高出力パルスマグネトロンスパッタリング技術の利点 （ HIPIMS ）
●従来のDCマグネトロンインパルス電力は、ターゲットの熱応力によって制限されます。
●イオン衝突エネルギーの大部分はターゲットの熱エネルギーに直接変換できます。
●パルスマグネトロン電源は、高いパルス出力と低いデューティサイクルを保証します。
●パルスマグネトロン電源は、DCマグネトロンスパッタリング電源に直接置き換えることができます。
高出力パルスマグネトロンスパッタリング放電とDCマグネトロンスパッタリング放電との比較
高出力パルスマグネトロンスパッタ放電の特徴 | DCマグネトロンスパッタ放電の特徴 |
陰極放電電圧は500〜2000Vであり、 電流密度は3〜4A / cm 2までです。 | 磁場強度は0.01~0.05Tであるのに対して、典型的なDCマグネトロンスパッタリング作業圧力（1~10mTorr）では、動作電圧が300~700Vである。 |
基板表面近傍の電子密度 ：10 18〜10 19 m -3 | 基板表面近傍の電子密度：10 15〜10 16 m -3 |
パワー密度：1〜3kW / cm 2 | スパッタリング中のターゲットの低イオン化率（〜1％）。 |
周波数：100〜1000Hz | 不活性ガスイオンの大部分は |
デューティサイクル：1％〜10％ | 追加の補助イオン化装置（マイクロ波のRF）が必要です。 |
高出力パルスマグネトロンスパッタ電源の特長
●従来のマグネトロンスパッタリングの異常グロー放電領域からのアーク放電領域への侵入を避けるため、正負の放電を高速スイッチで制御しています。 電流密度は1018〜1019 / m3であり、これは従来のマグネトロンスパッタリングよりも非常に高い。 また、80％〜99％と非常に高いイオン化率で、強力な接着力を備えた様々な高度なフィルムを容易に析出させることができます。
●高出力パルスマグネトロンスパッタリングパワーは、膜のコンシステンシー、硬度、耐摩耗性、接着性の点で優れた膜特性を提供します。
●PHPアーク抑制技術により、ユーザーは表面処理の過程でフィルムの品質をより便利に制御できます。 電圧安定化および理想的なクーデターの機能により、電源はワーク表面上のアーク放電を効果的に抑制し、めっき部品の生産歩留まり、表面粗さおよび膜接着性を大幅に改善することができる。
●高出力パルスマグネトロン電源は、先進の高周波インバータスイッチング電源技術と高出力IGBTパワーモジュールを採用
●タッチスクリーンマイクロコントローラを使用して、電源は高度に統合されており、操作が簡単で強力です。 電流と電圧の表示は非常に明確で直観的です。 また、多チャンネル高速計数、高速パルス機能をサポートしています。
●電源には過電流、過電圧、過熱保護機能があります。
●電源は、RS232、RS485、WIFIなどのデジタルポートを介してホストコンピュータと通信でき、制御機能が拡張されます。
製品仕様書：
製品モデル | |
入力電力および周波数（V / Hz）三相および四線 | AC380 + N |
| 60Hz | |
出力電流範囲（A） | 0〜500 |
Constant VoltagとConstant Currentの精度 | ≦1％ |
定格出力電圧（DCV） | 800 |
最大平均電力（KW） | 40 |
ピークパワー（KW） | 400 |
デューティサイクル（％） | <> |
重量（KG） | 60 |
外形寸法（MM） | 575（D）×480（W）×250（H） |
絶縁グレード | B |
生産性（％） | 90 |
エンクロージャ保護クラス | Ip21 |
動作モード | 定電圧、定電流、定電力モードはオプションです。 |
冷却モード | 水冷 |
外部インターフェイス | このシリーズ製品すべてがタッチスクリーンマイクロコントローラを採用 |
高出力インパルスマグネトロンスパッタリング電源EP50A80Hと他の製品との比較
高出力インパルスマグネトロンスパッタリング | |||
ブランド | ハウザー | IKS | |
HIPIMS + | EP50A80H | ||
最大平均電力 | 20KW | 20KW | 40KW |
最大電力 | 1MW〜8MW | 360KW | 400KW |
電圧 | 1KV、2KV | 800 | 800 |
現在 | 1KA、2KA、4KA | 600 | 500 |
アーク検出 | <> | <> | <> |
パッキング（B * H * T） | 483x635x676 | ヌル | 480x268x700 |
高出力パルスマグネトロンスパッタリングパワーEP50A80Hの利点
● 高い信頼性
EP50A80Hは、フィルムのコンシステンシー、硬度、耐摩耗性、接着性の点でより優れたフィルム特性を提供します。
● 優れたアーク抑制技術
EP50A80HはPHPのアーク抑制技術を採用しているため、ユーザーは表面処理の過程でフィルムの品質を便利に制御してより良いフィルム構造を得ることができます。
EP50A80Hは、既存のマグネトロンスパッタリング電源を直接置き換えることができます。 カソード材料と磁場を交換する代わりに、ユーザーは冷却システムを交換するだけでよい。
● 高出力対体積比
高出力の体積比により、機器の設置の統合が容易になります。
応用
高出力MFマグネトロンスパッタリング電源は、プラズマ、物理、化学、医療および様々な科学研究分野で広く使用されており、特に真空コーティング装置において広範なプロセス要件を満たすことができる。