高出力中間周波数マグネトロンスパッタ電源

高出力中間周波数マグネトロンスパッタ電源

高出力中間周波マグネトロンスパッタリング電源特長●高出力MFマグネトロンスパッタリング電源は、電力要件を十分に満たすことに基づいて、適切かつ迅速にアーク消弧の機能を実現することができます。 電源は完璧なディスプレイを備えています...
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制品の詳細

特徴

●高出力MFマグネトロンスパッタリング電源は、電力要件を完全に満たすことに基づいて、合理的かつ迅速にアーク消弧機能を実現することができます。 また、電源は低電圧、過電圧、過負荷、過熱などの表示と保護機能を完備しています。また、非導電性ターゲットをスパッタし、イオン化率を上げて標的被毒や異常放電を効果的に克服することができます。

●電源は高度な高周波インバーター電源技術とIGBTパワーモジュールを採用し、出力エネルギー蓄積素子を削減し、コーティング層が非常に高密度で滑らかです。

●タッチスクリーンマイクロコントローラを使用することで、電源は高度に統合されており、操作が簡単で強力です。 電流と電圧の表示は非常に明確で直観的です。

●PHPアーク抑制技術により、ユーザーは表面処理の過程でより簡単にコーティング層の品質を制御できます。 また、電圧安定化と理想的なクーデターの機能を備えているため、電源はワーク表面のアークを効果的に抑制し、生産歩留りを大幅に向上させるとともに、メッキ部品の表面の細かさや膜の接着性を大幅に向上させます。

●電源には、選択可能な3つのモード(定電圧、定電流、定電力)があります。 従来の定電流モードと比較して、定電力モードはコーティングプロセスの再現性をより確実にすることができます。

●電源はRS232、RS485、WIFIなどのデジタルポートを介してホストコンピュータと通信でき、制御機能が拡張されます。

●幅広い出力電力と周波数で、電源はさまざまなプロセスアプリケーションのニーズを満たすことができます。

●主なパラメータは広い範囲で調整できます。

仕様

製品モデル

EP80A125H

入力電力と周波数(V / Hz)Thre Phase and Four Wire

AC380 + N

60Hz

出力電流範囲(A)

0〜80

定電圧と定電流の精度

≦1%

定格出力電圧 (DCV)

1250

最大出力電力(KW)

100

デューティサイクル(%)

80

重量(KG)

80

外形寸法(MM)

575(D)×480(W)×250(H)

絶縁グレード

B

生産性(%)

90

エンクロージャ保護クラス

Ip21

動作モード

定電圧、定電流、および定電力モードはオプションです。従来の出力:定電流

冷却モード

水冷

外部インターフェイス

このシリーズ製品すべてがタッチスクリーンマイクロコントローラを採用

 

30kw MFマグネトロンスパッタリング電源と比較した性能比較

商品モード

中間周波数30kw

EP125A80H

周波数(KHZ)

40

40

デューティサイクル(%)

80

80

電圧(V)

800

800

電流(A)

38

125

最大電力(KW)

30

100

 

高出力MFマグネトロンスパッタリング電源 EP125A80Hの利点

炉の高空間利用

EP125A80Hは中間周波数目標を少なくし、炉の利用率を高め、生産能力を向上させます。

優れたアーク抑制技術

EP125A80HはPHPアーク抑制技術を採用しているため、ユーザーは表面処理の過程でフィルムの品質を便利に制御して、より良いフィルム構造を得ることができます。

良好な互換性

ユーザーは既存のマグネトロンスパッタリング電源をEP125A80Hに直接置き換えることができ、カソード材料と磁場を置き換えるのではなく、冷却システムを交換するだけで済みます。

高出力対体積比

高い電力対体積比により、ユーザーは機器の設置を容易に統合できます。

 

応用

高出力MFマグネトロンスパッタリング電源は、プラズマ、物理、化学、医療および様々な科学研究分野で広く使用されており、特に真空コーティング装置において広範なプロセス要件を満たすことができる。


引き合い

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