前書き
このタイプのゲージは、真空センサとしての小さな熱容量を有する安定した熱処理された熱フィラメントを採用する。 また、自動温度補償機能と防塵機能も備えています。 ゲージには広範囲、高速応答、耐汚染性、耐酸化性、小さなドリフト、長寿命、安定した性能などの利点があります。 したがって、これは、粗で低真空の測定に特に適しています。
主な技術的パラメータ
| 測定範囲 | 1 × 10 5〜1 × 10 -1 Pa | |
| フィラメント材料 | タングステンフィラメント（白金フィラメントまたはニッケルクロムワイヤーはオプション） | |
| フィラメントの耐寒性 | 86.5 ± 1.7Ω （23 ± 3 ℃ ） | |
| フィラメント温度 | 40〜300℃ | |
| 散らばった物 | ± 25％未満 （ 3 × 10 3〜1 × 10 -1 Pa ） | |
真空接続モード 焼成温度 | Φ15.5 ± 0.5ガラス | 80 ℃ |
| Φ15.5 ± 0.1金属 | 80 ℃ | |
| KF10クイックリリースフランジ | 80 ℃ | |
| KF16クイックリリースフランジ | 80 ℃ | |
| KF25クイックリリースフランジ | 80 ℃ | |
| KF40クイックリリースフランジ | 80 ℃ | |
| CF16 超高フランジ | 450 ℃ | |
| CF25超高フランジ | 450 ℃ | |
| CF35超高フランジ | 450 ℃ | |
