質量流量計

質量流量計

D07-7 KM 質量流量計導入質量流量計 (MFC) は、3 つの基本的なデバイスで構成されています: despites のガス量が温度変化による変動質量流量を正確に測定それフロー センサー、フロー スプリッター バイパス、プリント回路基板。MFC は、分野に広く応用.
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制品の詳細

導入

質量流量計 (MFC) は、3 つの基本的なデバイスで構成されています: despites のガス量が温度変化による変動質量流量を正確に測定それフロー センサー、フロー スプリッター バイパス、プリント回路基板。MFC は、半導体、ic、特別な材料科学、化学工業、たしか業界、製薬業界、環境保護、真空システムの研究などの分野で広く適用されます。

 

典型的なアプリケーション

MFC の主な用途が拡散、酸化、エピタキシャル成長、CVD、プラズマ、エッチング、スパッタリング、イオン注入、真空蒸着装置、光ファイバーの溶融、マイクロ反応など他のフィールドなどのマイクロ機器装置、ガス混合・ マッチング システム、キャピラリー フロー コントロール システム、ガスクロマト グラフおよびその他の分析機器です。

 

機能

MFC に D07-7 KM は、高精度、長寿命、優れた再現性、迅速な対応、ソフト スタート、優れた信頼性、広い操作圧力範囲 (高圧または真空状況の良い操作)、簡単で便利な操作の利点など。それは、必要な自動制御を実現するためにコンピューターに接続されている場所にインストールできます。

 

仕様

フローの範囲

(20,30,50,100,200,300,500) SCCM

(0 〜 1、2、3、5、10) SLM

精度

±1.5%F.S

直線性

±1%F.S

再現性

±0.2%F.S

応答時間

≤4 秒

温度係数

ゼロ: ≤±0.1%F.S./℃;Span: ≤±0.2%F.S./℃

最大圧力

3 mpa

動作温度

5 〜 45℃

シール材

バイトン、ネオプレン

設定/出力信号

0 V 〜 + 5.00 V

(入力インピー ダンス > 100 K 出力 Current≤3ma)

電源装置

+ 15 v 50 ma

-15 v 50 ma

電気接続

D サブ 15 ピン メス

差圧

< 0.01="">

リーク量

1 × 10-8atm•cc/秒彼 (1 × 10-9 Pa•m3/秒彼)

標準継手

SwagelokΦ8、SwagelokΦ6、SwagelokΦ3、Swagelok1/8"、φ4 (内部) × 1 ホース カプラー、VCR1/4「、Swagelok1/4」、φ 6 (内部) × 1 ホース カプラー

メディア

すべてのガス

Emi

CE

重量

0.92 kg


据付け寸法

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引き合い