導入
質量流量計 (MFC) は、3 つの基本的なデバイスで構成されています: despites のガス量が温度変化による変動質量流量を正確に測定それフロー センサー、フロー スプリッター バイパス、プリント回路基板。MFC は、半導体、ic、特別な材料科学、化学工業、たしか業界、製薬業界、環境保護、真空システムの研究などの分野で広く適用されます。
典型的なアプリケーション
MFC の主な用途が拡散、酸化、エピタキシャル成長、CVD、プラズマ、エッチング、スパッタリング、イオン注入、真空蒸着装置、光ファイバーの溶融、マイクロ反応など他のフィールドなどのマイクロ機器装置、ガス混合・ マッチング システム、キャピラリー フロー コントロール システム、ガスクロマト グラフおよびその他の分析機器です。
MFC に D07-7 KM は、高精度、長寿命、優れた再現性、迅速な対応、ソフト スタート、優れた信頼性、広い操作圧力範囲 (高圧または真空状況の良い操作)、簡単で便利な操作の利点など。それは、必要な自動制御を実現するためにコンピューターに接続されている場所にインストールできます。
仕様
フローの範囲 | (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 〜 1、2、3、5、10) SLM |
精度 | ±1.5%F.S |
直線性 | ±1%F.S |
再現性 | ±0.2%F.S |
応答時間 | ≤4 秒 |
温度係数 | ゼロ: ≤±0.1%F.S./℃;Span: ≤±0.2%F.S./℃ |
最大圧力 | 3 mpa |
動作温度 | 5 〜 45℃ |
シール材 | バイトン、ネオプレン |
設定/出力信号 | 0 V 〜 + 5.00 V (入力インピー ダンス > 100 K 出力 Current≤3ma) |
電源装置 | + 15 v 50 ma -15 v 50 ma |
電気接続 | D サブ 15 ピン メス |
差圧 | < 0.01=""> |
リーク量 | 1 × 10-8atm•cc/秒彼 (1 × 10-9 Pa•m3/秒彼) |
標準継手 | SwagelokΦ8、SwagelokΦ6、SwagelokΦ3、Swagelok1/8"、φ4 (内部) × 1 ホース カプラー、VCR1/4「、Swagelok1/4」、φ 6 (内部) × 1 ホース カプラー |
メディア | すべてのガス |
Emi | CE |
重量 | 0.92 kg |
据付け寸法
