低圧ΠMFCマスフローコントローラ -  PFC-20

低圧ΠMFCマスフローコントローラ - PFC-20

PFC-20、低圧πMFCマスフローコントローラは、安全な供給源ガスを最大限に利用します。 低圧πMFCの実装は、原料ガスボンベの変化の頻度を減らすことによって、ツールの稼働時間を増加させます。 これは、低ガスの正確かつ正確な制御を提供しています...
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制品の詳細


前書き


PFC-20、低圧πMFCマスフローコントローラは、安全な供給源ガスを最大限に利用します。 低圧πMFCの実装は、原料ガスボンベの変化の頻度を減らすことによって、ツールの稼働時間を増加させます。 これは、4Torrの低い原料ガス供給圧力で、広い圧力範囲にわたって低ガス流量を正確かつ正確に制御する。


このπMFCは、イオン注入業界に役立つSDSおよびVAC®ソースガス用に特別に設計されたMKS製品の最新のものです。 特許取得済みのバルブとセンサの設計は、すべての流量条件に対してゼロの安定性と精度を提供し、設定点を迅速に達成し、ガス流量を繰り返し制御する能力を維持します。 標準サイズのMFCフットプリントと制御I / Oは、既存のガスラインと互換性があり、容易な統合と操作が可能です。




特集と特典


SDSの原料ガス利用率を最大化してボトルの変更を減らし、ツールの稼働時間を向上させ、所有コストを削減

インプランターソースアプリケーションに最適化されたパラメーターを使用して、ガス流量を減らしながらガス流量を繰り返し制御する

デジタル制御ループにより、プロセスサイクルタイムを最小限に抑えた設定ポイントへの迅速な対応が可能

「No Problem Found」の削減により、ツールの稼働時間を増加させる:MFCの置き換え

- ユーザーがMFCを取り外すことなくMFC機能をチェックできる埋め込み診断とソフトウェアが含まれています。

エンベデッドイーサネットインターフェイスによるE診断機能により、動作中のパフォーマンスパラメータを監視できます。

一般的なMFCのフォームフィット機能の直接交換

マルチガス、マルチレンジ機能により在庫コストを削減

イーサネットインタフェースによる簡単な構成と診断

- 標準のWebブラウザを使用する - 特別なソフトウェアは必要ありません

- リモートPCアプリケーションを含む

明るい回転可能なLEDディスプレイにより、流量、ガスの種類、フルスケールの流量範囲、温度、 イーサネットアドレス を簡単に表示でき ます




寸法図とピン番号


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仕様


パフォーマンス
フルスケール範囲 (N 2相当) 2〜20sccm
入口圧力範囲   4〜1200 Torr(コンセントに真空を使用)
標準動作圧力差 (N 2相当) FS流量で<>
最大パージ圧 150 psig
破裂圧力 1500 psig
制御範囲 FSの2〜100%
典型的な精度  

> 10〜100%FSの場合、設定値の±1%

FSの±0.2%、FSの2〜10%

入口圧力> 20 Torrで

繰り返し性 FSの0.2%
解決 読書の0.1%

温度

係数

ゼロ ±0.08%FS /℃
スパン Rdg /℃の±0.08%

コントローラセトリング時間 (セミガイドラインE17-0600)

<> 10Torr以上の入口圧力で10%以上のFSが一般的です

ウォームアップタイム

(定常 性能の FSの0.2%以内

<>
通常の動作温度 10〜50℃
保管湿度 0〜95%相対湿度、結露しないこと
保管温度   -20〜65℃
温度表示 0〜100℃
温度読み出しユニット   °C
温度精度 ±2℃
温度分解能 0.1℃
機械的
継手   Swagelok®4 VCR®
表示 値は4桁、単位は4桁
漏れの完全性 外部(scc /秒He) <1x10>
閉鎖バルブ 25 psigでFSの<>

接液材料  

標準

316 SS VAR(半導体品質については316 SS SCQに相当)、

316 SS、Elgiloy、KM-45、NiTi

表面仕上げ 5マイクロインチ平均Ra
重量 2ポンド未満。 (0.9kg)
電気
コネクタ   アナログ(電源&I / O) 9ピンDオスまたは15ピンDオス
診断 イーサネット
入力電圧 15〜24VDC±5%VDC @ 350mAピーク、250mA定常状態
セットポイント指令信号 0〜5VDC
出力信号 0〜5VDC


引き合い