汎用マスフローコントローラ -  MKS 1179C

汎用マスフローコントローラ - MKS 1179C

1179Cは、多種多様な用途におけるガスの流れを測定して制御するように設計された汎用マスフローコントローラです。 1179マスフローコントローラは、10sccm〜20slmのフルスケール範囲で利用可能で、高速で繰り返し可能な流量制御を低レベルまで提供します...
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制品の詳細


前書き


1179Cは、 多種多様な用途におけるガス 流れ を測定して制御するように設計された汎用マスフローコントローラ です。 1179マスフローコントローラは、10 sccm〜20 slmのフルスケール範囲で使用でき、0.2 sccmまでの高速で再現性の高い流量制御が可能です。 また、適切な圧力トランスデューサに接続して圧力コントローラとして使用することもできます。


1179Cは、 今日市場に出回っている 最も一般的なMFCのフォームフィット機能の直接的な置き換え です。 標準の3インチフットプリントにより、既存のガスラインを変更することなく1179Cを同じスペースに直接ドロップすることができます。 電気コネクタは、同じタイプの「D」コネクタで、業界の同等品と同じピン配列、信号、および機能を備えているため、ケーブルやコネクタの再配線は不要です。 1179Cは、MKSの電源装置やMKS製のディスプレイエレクトロニクスと互換性があります。



特集と特典


優れたゼロ安定性を提供する特許取得済みの1センサー設計

フルスケール流量は10 sccm〜20 slmの範囲で、正確で再現性の高い流量測定と制御が可能です

アナログ構成のフルスケール精度のパーセンテージ

ウォームアップ時間の短縮により、高価な生産停止時間を最小限に抑えます。

以前のMKS MFCおよび電源/読み出しモジュールと互換性があります

厳格な設計とテストには、MTBF分析とSTRIFEテストが含まれ、長期的なパフォーマンスを保証します

濡れたステンレス表面の表面処理、クリーンルーム処理、およびエラストマーシールの最小限の使用により、要求の厳しいクリーンプロセスでの使用が可能になります

品質と顧客満足を保証する2年保証



構造

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1179Cマスフローコントローラの断面図



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フロー精度と再現性

上のグラフは、1179CファミリのアナログMFCの典型的な流量精度と繰り返し精度を示しています。 測定は、10日間にわたり、MKS InstrumentsのCaliflow(登録商標)Primary Calibration Calibratorを用いて行った。




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ゼロ安定性

上記のグラフは、1179ファミリで使用されている1179Cセンサの優れたゼロおよびスパンの安定性を示しています。 計器は電源が投入され、無作為に19ヶ月間のゼロおよびスパンドリフトについて試験された。




仕様


フルスケール範囲 (N 2相当)

10,20,50,100,200,500,1000,2000,5000、

10000,20000sccm

最大吸気圧力 150 psig

通常の使用圧力

ディファレンシャル   (大気

MFCコンセントの圧力)

10〜5000sccm 10〜40 psid
10000〜30000sccm 15〜40 psid
制御範囲 FSの2%から100%

精度 (アナログ)(非直線性、ヒステリシス、および非繰り返し性を含む)

760mmHgおよび0℃を基準とする)

FSの±1.0%
繰り返し性 FSの±0.2%
解決 FSの0.1%
温度係数 ゼロ <0.05%fs>
スパン Rdg /℃の0.08%未満
ウォーミングアップ時間 (定常性能のFSの0.2%以内) <>
コントローラのセトリング時間 (SEMIガイドラインE17-91) <>
圧力係数 Rdg./psiの<>
標準動作温度範囲   0℃〜50℃
必要な入力電圧 マックス 始動時の電流(最初の2秒) 200mAで±15VDC(±5%)
定常状態での典型的な電流 100mAで±15VDC(±5%)
セットポイント指令信号 <>
出力信号 0〜5 VDC> 10KΩ
出力インピーダンス <>

コネクタの種類  

アナログ

9ピンまたは15ピンタイプ "D"

(15ピンタイプの "D"コネクタは電子的に接続されています

他のMKSフロー コントローラ と互換性があり ます。

詳細についてはアプリケーションエンジニアにお問い合わせください)。

接液材料 標準 316L SS、Viton(登録商標)、ニッケル
オプション(シールとバルブシート) ブナ-N、ネオプレン®、カルレッツ®
漏れの完全性 外部(scc /秒He) <1 x="" 10="">
閉じたバルブを通して

大気への入口40psigで<>

(フロースルーを防止するために、別のポジティブシャットオフバルブを推奨します)。

継手(互換品)

Swagelok®4 VCR®、Swagelok®4 VCO®、

¼ ''スウェージロック

コンプライアンス CE


























































寸法図

注記:特に指定のない限り、寸法はインチ(mm単位)の公称値です。

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引き合い