複合真空計(ZDFシリーズ)
ダブル抵抗単一イオン化複合真空計
前書き
ZDF-Xシリーズ抵抗/イオン化化合物真空計は、1つの抵抗ユニットに基づいて独立して低真空(1×10 5〜1×10 -1 Pa)測定を行うことができます。 別の抵抗ユニット(ZJ-52T抵抗ゲージ)とイオン化ユニット(ZJ -27イオン化ゲージ)は複合ユニットとして動作し、1x10 5〜1x10 -5 Paの連続測定と制御を完了します。パラメータと抵抗真空ゲージとイオン化真空ゲージの性能特性、同時に、それは新しい機能を持っています。
この真空計の複合ユニットには、手動モードと自動モードという2つの動作モードがあります。 手動モードで作業するときは、独立した熱電対真空計とイオン化真空計に相当します。 自動モードで作業する場合、 抵抗ユニットが最初に測定を開始し、イオン化ゲージが開くことができる真空度よりも高い抵抗単位によって測定された真空度が自動的に点灯(オン)され、高真空測定が開始され、高真空まで。 真空環境下で動作するイオン化ゲージを実現するための周辺(PLC)開閉イオン化ゲージ機能も追加され、イオン化ゲージの寿命が延長されています。
一部のモデルは、スイッチング電源とスイッチングDC電源駆動の安定化イオン化ゲージフィラメント起動回路を採用し、高集積非電力周波数トランスの設計を実現し、低温状態のイオン化ゲージフィラメントの予熱を予熱し、 (AC / 90V〜260V)、広いケーブル長適応能力(3〜30メートル)を実現しています。 これは、現在、新しいイオン化ゲージフィラメント駆動安定化技術である。 真空機器の自動化技術に適応するため、強力なリレー接点制御、シリアル通信、真空アナログおよびその他の拡張機能を統合しています。 従って、大気圧(常圧)から最高真空度が10 -3〜10 -4 Paの真空装置の高真空までの真空測定に特に適しており、作動真空度は10 -2 〜10 -3 Pa。
仕様
ゲージモデル: 2個のZJ - 52T抵抗ゲージ、1個のイオン化ゲージ
測定範囲: 独立抵抗ユニット:1 × 10 5〜1 × 10 -1 Pa
複合ユニット:
連続測定(自動モード)1 × 10 5〜1 × 10 -5 Pa
独立測定(手動モード):
抵抗ユニット:1 × 10 5〜1 × 10 -1 Pa
イオン化ユニット:5〜1 × 10 -5 Pa
コントロールエリア: 抵抗ユニット:2.5 × 10 3〜1 × 100Pa
イオン化ユニット:1 × 100〜1 × 10 -4 Pa
コントロールパス: 4つのルートを4つまたは8つのルートに拡張できます
制御精度: ± 1%
制御モード: リレー接点出力、負荷容量AC220V / 3A(またはDC28V / 3A)、無誘導負荷。
デガスモード: ジュール
サンプリング時間: 1S
電源: 90-260V / 50Hz または 220V ± 10%50Hz
電源: 55W
重量: 6Kg / 5Kg / 4Kg(寸法による)
寸法: 240 × 88 × 280または480 × 88 × 280
265 × 119 × 280または480 × 119 × 280 ( W × H × D )
パフォーマンス機能
1. LEDグリーンスクリーンのデジタル表示
2.広い測定範囲
3.クイックレスポンス
4.マイクロプロセッサはゲージの非線形性を修復し、測定誤差を低減します。
5.精密真空信号増幅回路により、安定したゼロ点とフルスケールが保証されます。
6.ワイドで安定した発光回路により、安定したイオン化ゲージの放出電流を適応的に調整することができます。
フルスケールでの自動切り替え。
8.自動外れ保護機能は、空気がシステムに急激に暴露されたためにゲージが損傷しないようにします。
9.光電子絶縁、デジタルフィルタリング、優れた抗干渉能力、安定した信頼性の高い真空測定。
10.機能的、モジュラー構造設計。
11.ポイント制御またはエリア制御では、上限と下限が任意に設定されます。
12.メモリー機能付きコントロールポイントの電源オフ保護。
13.単純化された機能ボタンと簡単な操作、誤操作によってゲージが損傷することはありません。
14. PVCカラーパネルは美しい外観を保証します。