前書き
INFICON SKY CDG045Dマノメータは、高精度の全圧測定と制御に最適です。 CDG045Dゲージは45℃で温度制御されており、優れた信号安定性と再現性を実現しています。 これらは50mTorr〜1000Torrのフルスケール範囲で使用でき、すべての共通フランジタイプとフィールドバスインターフェースを備え、ガス種に依存しないリニアな0〜10Vの圧力信号を提供します。 INFICON静電容量式圧力計は、耐腐食性である超純アルミナセラミックダイヤフラムを使用しています。 セラミックセンサーの利点は、信号安定性が良好で、雰囲気からの回復が早く、ウォームアップ時間が短いこと、並外れた寿命です。 INFICON CDGは、要求の厳しい真空用途向けの、高品質でコスト効率の高い圧力センサーです。
INFICON SKY CDG045D静電容量ダイヤフラムゲージは、Oerlikon Leybold CTR 101トランスミッタの直接の代替品です。 世界中のサポートとすべてのアプリケーションのソリューションを提供して、manufactererからオリジナルを入手してください。
◆ CTR 101トランスミッタと完全互換
◆ CoO（Cost of Ownership）を低くし、ウォーミングアップ時間を50％短縮し、エネルギー効率の良い低消費電力
◆簡単な統合、2種類の設定点を備えたフルスケール、フランジおよびインターフェースの多種多様
◆簡単なワンプッシュボタンまたはリモート信号ゼロコマンド、ゼロオフセット調整可能
◆迅速な保守と保守のための診断ポート
◆ 2年間の保証、高度な暖房コンセプトとゲージ保護による長寿命
◆過酷なプラズマ用途でも優れた信号安定性と再現性により、長期間の再校正は不要
◆適合規格：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
◆エッチング、CVD、PVDなどの半導体製造プロセス
◆化学腐食性真空プロセス
◆一般的な薄膜および真空プロセス
◆国際標準に準拠したテスト機器の監視用基準センサ
トレーサビリティ測定の転送標準
仕様
タイプ | 1000トル、 1100ミリバール | 500 ... 1トル/ mbar | 0.5 ... 0.05トル/ mbar | |
正確さ | 読書の％ | 0.15 | 0.15 | 0.15 |
温度効果 | ||||
ゼロで | パーセントFS /℃ | 0.0025 | 0.0025 | 0.0025 |
オンスパン | 読み取り値の％/°C | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
解決 | パーセントFS | 0.003 | 0.003 | 0.003 |
圧力、最大。 | kPa（絶対） | 400 | 260 | 130 |
最低の読書 | パーセントFS | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
最も低い提案 読書 | パーセントFS | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
最も低い提案 制御 圧力 | パーセントFS | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
温度 | ||||
操作 （周囲） | °C | +10 ... +40 | +10 ... +40 | +10 ... +40 |
フランジでのベークアウト | °C | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
ストレージ | °C | -20 ... +65 | -20 ... +65 | -20 ... +65 |
供給電圧 | +14 ... + 30VDCまたは± 15V（±5％） | +14 ... + 30VDCまたは± 15V（±5％） | +14 ... + 30VDCまたは± 15V（±5％） | |
消費電力 | ||||
ヒートアップ中 | W | ≤12 | ≤12 | ≤12 |
動作温度 | W | ≦8 | ≦8 | ≦8 |
出力信号 （アナログ） | V（dc） | 0 ... +10 | 0 ... +10 | 0 ... +10 |
反応時間 | ミズ | 30 | 30 | 130/30 |
保護の程度 | IP 40 | IP 40 | IP 40 | |
標準 | ||||
CE適合 | EN 61000-6-2 / -6-3、 EN 61010およびRoHS | EN 61000-6-2 / -6-3、 EN 61010およびRoHS | EN 61000-6-2 / -6-3、 EN 61010およびRoHS | |
ETL認証 | UL 61010-1、CSA 22.2 No.61010-1 | UL 61010-1、CSA 22.2 No.61010-1 | UL 61010-1、CSA 22.2 No.61010-1 | |
SEMIコンプライアンス | SEMI S2 | SEMI S2 | SEMI S2 | |
電気的 接続 | D-sub、15 極、男性 | D-sub、15 極、男性 | D-sub、15 極、男性 | |
セットポイント | ||||
セットポイントの数 | 2（SP1、SP2） | 2（SP1、SP2） | 2（SP1、SP2） | |
リレー接点 | V（dc） | ≦30 | ≦30 | ≦30 |
ヒステリシス | パーセントFS | 1 | 1 | 1 |
診断ポート | ||||
プロトコル | RS232-C | RS232-C | RS232-C | |
読む | 圧力、ステータス、ID | 圧力、ステータス、ID | 圧力、ステータス、ID | |
セット | 設定点、フィルタ、ゼロ 調整、工場出荷時リセット、 DCオフセット | 設定点、フィルタ、ゼロ 調整、工場出荷時リセット、 DCオフセット | 設定点、フィルタ、ゼロ 調整、工場出荷時リセット、 DCオフセット | |
露出した材料 真空 | 酸化アルミニウムセラミック （Al 2 O 3）、ステンレス スチール（AISI 316L） | 酸化アルミニウム セラミック （Al 2 O 3 ）、ステンレス鋼（AISI 316L ） | 酸化アルミニウム セラミック （Al 2 O 3 ）、ステンレス鋼（AISI 316L ） | |
内部容積 | ||||
1/2 "チューブ | cm3（in.³） | 4.2（0.26） | ||
DN 16 ISO KF | cm3（in.³） | 4.2（0.26） | ||
DN 16 CF-R | cm3（in.³） | 4.2（0.26） | ||
8VCR® | cm3（in.³） | 4.2（0.26） | ||