対応真空ゲージおよびコントローラCDG045D 0.05〜1000Torr / Mbar

対応真空ゲージおよびコントローラCDG045D 0.05〜1000Torr / Mbar

はじめにINFICON SKY CDG045Dマノメータは、高精度の全圧測定と制御に最適です。 CDG045Dゲージは45℃で温度制御されており、優れた信号安定性と再現性を実現しています。 それらは、50 mTorrから1000 Torrまでのフルスケールで利用可能です。
今すぐチャット

制品の詳細


前書き


INFICON SKY CDG045Dマノメータは、高精度の全圧測定と制御に最適です。 CDG045Dゲージは45℃で温度制御されており、優れた信号安定性と再現性を実現しています。 これらは50mTorr〜1000Torrのフルスケール範囲で使用でき、すべての共通フランジタイプとフィールドバスインターフェースを備え、ガス種に依存しないリニアな0〜10Vの圧力信号を提供します。 INFICON静電容量式圧力計は、耐腐食性である超純アルミナセラミックダイヤフラムを使用しています。 セラミックセンサーの利点は、信号安定性が良好で、雰囲気からの回復が早く、ウォームアップ時間が短いこと、並外れた寿命です。 INFICON CDGは、要求の厳しい真空用途向けの、高品質でコスト効率の高い圧力センサーです。


INFICON SKY CDG045D静電容量ダイヤフラムゲージは、Oerlikon Leybold CTR 101トランスミッタの直接の代替品です。 世界中のサポートとすべてのアプリケーションのソリューションを提供して、manufactererからオリジナルを入手してください。




利点


CTR 101トランスミッタと完全互換

CoO(Cost of Ownership)を低くし、ウォーミングアップ時間を50%短縮し、エネルギー効率の良い低消費電力

簡単な統合、2種類の設定点を備えたフルスケール、フランジおよびインターフェースの多種多様

簡単なワンプッシュボタンまたはリモート信号ゼロコマンド、ゼロオフセット調整可能

迅速な保守と保守のための診断ポート

2年間の保証、高度な暖房コンセプトとゲージ保護による長寿命

過酷なプラズマ用途でも優れた信号安定性と再現性により、長期間の再校正は不要

適合規格:CE、EN、UL、SEMI、RoHS




代表的なアプリケーション


エッチング、CVD、PVDなどの半導体製造プロセス

化学腐食性真空プロセス

一般的な薄膜および真空プロセス

国際標準に準拠したテスト機器の監視用基準センサ

トレーサビリティ測定の転送標準




仕様


blob.png




タイプ


1000トル、 1100ミリバール

500 ... 1トル/ mbar

0.5 ... 0.05トル/ mbar

正確さ

読書の%

0.15

0.15

0.15

温度効果

ゼロで

パーセントFS /℃

0.0025

0.0025

0.0025

オンスパン

読み取り値の%/°C

0.01

0.01

0.01

解決

パーセントFS

0.003

0.003

0.003

圧力、最大。

kPa(絶対)

400

260

130

最低の読書

パーセントFS

0.01

0.01

0.01

最も低い提案

読書

パーセントFS

0.05

0.05

0.05

最も低い提案

制御 圧力

パーセントFS

0.5

0.5

0.5

温度

操作 (周囲)

°C

+10 ... +40

+10 ... +40

+10 ... +40

フランジでのベークアウト

°C

≤110

≤110

≤110

ストレージ

°C

-20 ... +65

-20 ... +65

-20 ... +65

供給電圧


+14 ... + 30VDCまたは±

15V(±5%)

+14 ... + 30VDCまたは±

15V(±5%)

+14 ... + 30VDCまたは±

15V(±5%)

消費電力

ヒートアップ中

W

≤12

≤12

≤12

動作温度

W

≦8

≦8

≦8

出力信号 (アナログ)

V(dc)

0 ... +10

0 ... +10

0 ... +10

反応時間

ミズ

30

30

130/30

保護の程度


IP 40

IP 40

IP 40

標準

CE適合


EN 61000-6-2 / -6-3、

EN 61010およびRoHS

EN 61000-6-2 / -6-3、

EN 61010およびRoHS

EN 61000-6-2 / -6-3、

EN 61010およびRoHS

ETL認証


UL 61010-1、CSA

22.2 No.61010-1

UL 61010-1、CSA

22.2 No.61010-1

UL 61010-1、CSA

22.2 No.61010-1

SEMIコンプライアンス


SEMI S2

SEMI S2

SEMI S2

電気的 接続


D-sub、15 極、男性

D-sub、15 極、男性

D-sub、15 極、男性

セットポイント





セットポイントの数


2(SP1、SP2)

2(SP1、SP2)

2(SP1、SP2)

リレー接点

V(dc)

≦30

≦30

≦30

ヒステリシス

パーセントFS

1

1

1

診断ポート

プロトコル


RS232-C

RS232-C

RS232-C

読む


圧力、ステータス、ID

圧力、ステータス、ID

圧力、ステータス、ID

セット


設定点、フィルタ、ゼロ

調整、工場出荷時リセット、

DCオフセット

設定点、フィルタ、ゼロ

調整、工場出荷時リセット、

DCオフセット

設定点、フィルタ、ゼロ

調整、工場出荷時リセット、

DCオフセット

露出した材料

真空


酸化アルミニウムセラミック

(Al 2 O 3)、ステンレス スチール(AISI 316L)

酸化アルミニウム セラミック

(Al 2 O 3 )、ステンレス鋼(AISI 316L

酸化アルミニウム セラミック

(Al 2 O 3 )、ステンレス鋼(AISI 316L

内部容積

1/2 "チューブ

cm3(in.³)

4.2(0.26)

DN 16 ISO KF

cm3(in.³)

4.2(0.26)

DN 16 CF-R

cm3(in.³)

4.2(0.26)

8VCR®

cm3(in.³)

4.2(0.26)






























































引き合い