対応真空ゲージおよびコントローラCDG025D 0.1〜1000 Torr / mbar

対応真空ゲージおよびコントローラCDG025D 0.1〜1000 Torr / mbar

はじめにINFICON SKY CDG025D静電容量ダイアフラム・ゲージ・ラインは、厳しい製造ツール環境で安定した性能を発揮するように設計されています。 高度なデジタル電子機器は、ゲージの性能を向上させ、以下のような取り扱いが容易な機能を提供します。
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制品の詳細


前書き


高精度温度補償マノメータのINFICON SKY CDG025D静電容量ダイアフラムゲージラインは、過酷な製造ツール環境で安定した性能を発揮するように設計されています。 高度なデジタルエレクトロニクスは、ゲージ性能を向上させ、ワンプッシュボタンゼロ機能やセットポイント調整などの取り扱いが容易な機能を提供します。 耐腐食性セラミックセンサは、大気バーストを含む数百万回の圧力サイクルの長寿命を備え、優れたゼロ安定性を提供します。 独自のセンサシールド(特許出願中)により、プロセス汚染からゲージが保護されます。 ロバストな機械設計とデジタルエレクトロニクスにより、EMCの互換性、長期安定性、温度補償が向上します。 CDG025Dは、電源投入後、大気圧暴露からの迅速な回復の後、迅速な安定性のための新しい基準を設定します。


INFICON SKY CDG025D静電容量ダイアフラムゲージは、Oerlikon Leybold CTR 100トランスミッタの直接の代替品です。 世界中のサポートとすべてのアプリケーションのソリューションを提供して、manufactererからオリジナルを入手してください。



利点


◆CTR 100トランスミッタと完全互換

フルスケールは100mTorr〜1000Torr

電源投入後の高速安定性

大気圧からの高速回復

耐腐食セラミックセンサー

優れた長期信号安定性

温度補償済み

汚染から保護されたセンサー

ワンプッシュボタンゼロ機能

広範囲の電源



代表的なアプリケーション


エッチング、CVD、PVD、ALD用半導体製造装置

データストレージおよびディスプレイ製造装置

工業用真空装置

一般的な高精度圧力測定



仕様


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タイプ

1000トル

/ 1100mbar

500 ... 10 Torr / mbar 1トル/ mbar 0.25Torr

0.1Torr

/ mbar

正確さ 読書の% 0.2 0.2 0.2 0.25 0.5
温度効果
ゼロで パーセントFS /℃ 0.005 0.005 0.015 0.02 0.02
オンスパン 読み取り値の%/°C 0.01
0.01 0.01 0.03 0.03
解決 パーセントFS 0.003 0.003 0.003 0.003 0.003
圧力、最大。 kPa(絶対) 400 260 260 130 130

応答 時間

ミズ 30 30 30 130 130
最低の読書 パーセントFS 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
最も低い示唆された読書 パーセントFS 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05
最低推奨コントロール圧力 パーセントFS 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
温度

操作

(周囲)

°C +5 ... +50 +5 ... +50 +5 ... +50 +5 ... +50 +5 ... +50
フランジでのベークアウト °C ≤110 ≤110 ≤110 ≤110 ≤110
ストレージ °C -40 ... +65 -40 ... +65 -40 ... +65 -40 ... +65 -40 ... +65
供給電圧 V(dc) +14 ... +30 +14 ... +30 +14 ... +30 +14 ... +30 +14 ... +30

消費

W ≦1 ≦1 ≦1 ≦1 ≦1

出力信号

(アナログ)

V(dc) 0 ... +10 0 ... +10 0 ... +10 0 ... +10 0 ... +10

保護


IP 30 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30
標準
CE適合

EN 61000-6-2、EN

61000-6-3、EN 61010& RoHS

EN 61000-6-2、EN

61000-6-3、EN 61010& RoHS

EN 61000-6-2、EN

61000-6-3、EN 61010& RoHS

EN 61000-6-2、EN

61000-6-3、EN 61010& RoHS

EN 61000-6-2、EN

61000-6-3、EN 61010& RoHS

ETL認証

UL 61010-1、CSA 22.2 No.

61010-1

UL 61010-1、CSA 22.2 No.

61010-1

UL 61010-1、CSA 22.2 No.

61010-1

UL 61010-1、CSA 22.2 No.

61010-1

UL 61010-1、CSA 22.2 No.

61010-1

電気

接続


D-sub、15 極、男性

D-sub、15 極、男性

D-sub、 15 極、男性

D-sub、15 極、男性

D-sub、15 極、男性

真空にさらされた材料

アルミニウム

酸化物セラミック(Al 2 O 3)、

Vacon 70、

ステンレス鋼(AISI 316L)、

AgCuTiハード

はんだ、 封止ガラス

アルミニウム

酸化物セラミック(Al 2 O 3)、

Vacon 70、

ステンレス鋼(AISI 316L)、

AgCuTiハード

はんだ、 封止ガラス

アルミニウム

酸化物セラミック(Al 2 O 3)、

Vacon 70、

ステンレス鋼(AISI 316L)、

AgCuTiハード

はんだ、 封止ガラス

アルミニウム

酸化物セラミック(Al 2 O 3)、

Vacon 70、

ステンレス鋼(AISI 316L)、

AgCuTiハード

はんだ、 封止ガラス

アルミニウム

酸化物セラミック(Al 2 O 3)、

Vacon 70、

ステンレス鋼(AISI 316L)、

AgCuTiハード

はんだ、 封止ガラス

内部容積
1/2 "チューブ cm3(in.³) 3.6(0.22)
DN 16 ISO KF cm3(in.³) 3.6(0.22)
DN 16 CF-R cm3(in.³) 3.6(0.22)
8VCR® cm3(in.³) 3.6(0.22)












































































引き合い