前書き
高精度温度補償マノメータのINFICON SKY CDG025D静電容量ダイアフラムゲージラインは、過酷な製造ツール環境で安定した性能を発揮するように設計されています。 高度なデジタルエレクトロニクスは、ゲージ性能を向上させ、ワンプッシュボタンゼロ機能やセットポイント調整などの取り扱いが容易な機能を提供します。 耐腐食性セラミックセンサは、大気バーストを含む数百万回の圧力サイクルの長寿命を備え、優れたゼロ安定性を提供します。 独自のセンサシールド（特許出願中）により、プロセス汚染からゲージが保護されます。 ロバストな機械設計とデジタルエレクトロニクスにより、EMCの互換性、長期安定性、温度補償が向上します。 CDG025Dは、電源投入後、大気圧暴露からの迅速な回復の後、迅速な安定性のための新しい基準を設定します。
INFICON SKY CDG025D静電容量ダイアフラムゲージは、Oerlikon Leybold CTR 100トランスミッタの直接の代替品です。 世界中のサポートとすべてのアプリケーションのソリューションを提供して、manufactererからオリジナルを入手してください。
◆CTR 100トランスミッタと完全互換
◆フルスケールは100mTorr〜1000Torr
◆電源投入後の高速安定性
◆大気圧からの高速回復
◆耐腐食セラミックセンサー
◆優れた長期信号安定性
◆温度補償済み
◆汚染から保護されたセンサー
◆ワンプッシュボタンゼロ機能
◆広範囲の電源
◆エッチング、CVD、PVD、ALD用半導体製造装置
◆データストレージおよびディスプレイ製造装置
◆工業用真空装置
◆一般的な高精度圧力測定
仕様
| タイプ | 1000トル / 1100mbar | 500 ... 10 Torr / mbar | 1トル/ mbar | 0.25Torr | 0.1Torr / mbar | |
| 正確さ | 読書の％ | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.25 | 0.5 |
| 温度効果 | ||||||
| ゼロで | パーセントFS /℃ | 0.005 | 0.005 | 0.015 | 0.02 | 0.02 |
| オンスパン | 読み取り値の％/°C | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.03 | 0.03 |
| 解決 | パーセントFS | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 |
| 圧力、最大。 | kPa（絶対） | 400 | 260 | 260 | 130 | 130 |
応答 時間 | ミズ | 30 | 30 | 30 | 130 | 130 |
| 最低の読書 | パーセントFS | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
| 最も低い示唆された読書 | パーセントFS | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
| 最低推奨コントロール圧力 | パーセントFS | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 温度 | ||||||
操作 （周囲） | °C | +5 ... +50 | +5 ... +50 | +5 ... +50 | +5 ... +50 | +5 ... +50 |
| フランジでのベークアウト | °C | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
| ストレージ | °C | -40 ... +65 | -40 ... +65 | -40 ... +65 | -40 ... +65 | -40 ... +65 |
| 供給電圧 | V（dc） | +14 ... +30 | +14 ... +30 | +14 ... +30 | +14 ... +30 | +14 ... +30 |
力 消費 | W | ≦1 | ≦1 | ≦1 | ≦1 | ≦1 |
出力信号 （アナログ） | V（dc） | 0 ... +10 | 0 ... +10 | 0 ... +10 | 0 ... +10 | 0 ... +10 |
度 保護 | IP 30 | IP 30 | IP 30 | IP 30 | IP 30 | |
| 標準 | ||||||
| CE適合 | EN 61000-6-2、EN 61000-6-3、EN 61010＆ RoHS | EN 61000-6-2、EN 61000-6-3、EN 61010＆ RoHS | EN 61000-6-2、EN 61000-6-3、EN 61010＆ RoHS | EN 61000-6-2、EN 61000-6-3、EN 61010＆ RoHS | EN 61000-6-2、EN 61000-6-3、EN 61010＆ RoHS | |
| ETL認証 | UL 61010-1、CSA 22.2 No. 61010-1 | UL 61010-1、CSA 22.2 No. 61010-1 | UL 61010-1、CSA 22.2 No. 61010-1 | UL 61010-1、CSA 22.2 No. 61010-1 | UL 61010-1、CSA 22.2 No. 61010-1 | |
電気 接続 | D-sub、15 極、男性 | D-sub、15 極、男性 | D-sub、 15 極、男性 | D-sub、15 極、男性 | D-sub、15 極、男性 | |
| 真空にさらされた材料 | アルミニウム 酸化物セラミック（Al 2 O 3）、 Vacon 70、 ステンレス鋼（AISI 316L）、 AgCuTiハード はんだ、 封止ガラス | アルミニウム 酸化物セラミック（Al 2 O 3）、 Vacon 70、 ステンレス鋼（AISI 316L）、 AgCuTiハード はんだ、 封止ガラス | アルミニウム 酸化物セラミック（Al 2 O 3）、 Vacon 70、 ステンレス鋼（AISI 316L）、 AgCuTiハード はんだ、 封止ガラス | アルミニウム 酸化物セラミック（Al 2 O 3）、 Vacon 70、 ステンレス鋼（AISI 316L）、 AgCuTiハード はんだ、 封止ガラス | アルミニウム 酸化物セラミック（Al 2 O 3）、 Vacon 70、 ステンレス鋼（AISI 316L）、 AgCuTiハード はんだ、 封止ガラス | |
| 内部容積 | ||||||
| 1/2 "チューブ | cm3（in.³） | 3.6（0.22） | ||||
| DN 16 ISO KF | cm3（in.³） | 3.6（0.22） | ||||
| DN 16 CF-R | cm3（in.³） | 3.6（0.22） | ||||
| 8VCR® | cm3（in.³） | 3.6（0.22） | ||||
