スペアパーツ一覧
| NO。 | 項目 | 材料 | 数量 | 目的 |
| 1 | リップタイプパッキンL4330 | 真空ゴム | 1 | シリンダー |
| 2 | Oリングφ650x7.5 | シリコーン | 4 | シリンダー |
| 3 | Oリングφ60x4 | FKM | 1 | シリンダー |
| 4 | Oリングφ6x3 | FKM | 6 | 点検窓 |
| 5 | Oリングφ105x5 | FKM | 4 | 点検窓 |
| 6 | Oリングφ125x6 | FKM | 2 | ドライブジョイント |
| 7 | スケルトンラバーオイルシール50x80x12 | NBR | 5 | ドライブジョイント |
| 8 | オイルシール20x40x8 | FKM | 4 | バッフル |
| 9 | Oリングφ64x4 | FKM | 1 | バッフル |
| 10 | Oリングφ109x6 | NBR | 1 | 単位 |
| 11 | Oリングφ258x6 | FKM | 1 | 単位 |
| 12 | Oリングφ92x6 | NBR | 1 | 単位 |
| 13 | Oリングφ48x4 | FKM | 4 | ヒーターグループ |
| 14 | Oリングφ18x3 | FKM | 8 | アーク・ストライク・グループ |
| 15 | Oリングφ14x3 | FKM | 1 | バイアス電圧 |
| 16 | Oリングφ9x3 | FKM | 2 | バイアス電圧 |
| 17 | Oリングφ14x3 | NBR | 3 | 格子弁 |
| 18 | Oリングφ24x4 | NBR | 1 | 格子弁 |
| 19 | Oリングφ16x2 | NBR | 1 | 63バルブ |
| 20 | Oリングφ19x3 | FKM | 3 | 63バルブ |
| 21 | Oリングφ68x5 | FKM | 1 | 63バルブ |
| 22 | Oリングφ24x4 | FKM | 3 | 250バルブ |
| 23 | Oリングφ285x6 | FKM | 1 | 250バルブ |
| 24 | Oリングφ64x4 | FKM | 1 | 250バルブ |
| 25 | Oリングφ245x5 | FKM | 1 | 250バルブ |