ZY-1713マグネトロンスパッタリング用真空封止装置のシール部品のスペアパーツ

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制品の詳細


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NO。 項目 材料 数量 目的
1 リップタイプパッキンL5400
真空ゴム 1
シリンダー
2 Oリングφ125x4 FKM 2 点検窓
3 Oリングφ105x4 FKM 4 点検窓
4 オイルシール8x22x7 FKM 4 点検窓
5 Oリングφ20x4 FKM 2 点検窓
6 Oリングφ2.5x2.5 FKM 2 温度計
7 Oリングφ6x3 NBR 18 空気インフレグループ
8 Oリングφ25x4 FKM 12 ヒータ
9 Oリングφ100x4 NBR 20 円筒盲板
10 Oリングφ815x6 FKM 4 ターゲットブラインドプレート
11 Oリングφ200x4 NBR 1 ボトムカバーブラインドプレート
12 Oリングφ120x3 FKM 10 アークソースブラインドプレート1
13 Oリングφ18x3 FKM 10 アークソースブラインドプレート2
14 Oリングφ42x4 NBR 6 グレーティングバルブブラインドプレート
15 Oリングφ205x5 FKM 6 トップカバーフランジ1
16 Oリングφ320x5 FKM 4 トップカバーフランジ2
17 Oリングφ54x3 FKM 1 回転スタンド
18 Oリングφ180x6 FKM 1 回転スタンド
19 Oリングφ200x6 FKM 1 Rotatinc
20 Oリングφ15×4 NBR 2 ゲージ
21 Oリングφ16x3 シリコーン 9 円筒ターゲット
22 オイルシール25x42x7 シリコーン 18 円筒ターゲット
23 Oリングφ90×5 シリコーン 18 円筒ターゲット
24 オイルシール32x62x10 シリコーン 27 円筒ターゲット
25 Oリングφ640x3 NBR 1 イオン源
26 Oリングφ630x2.65 NBR 1 イオン源
27 Oリングφ2x1.8 NBR 1 イオン源
28 Oリングφ4x2.5 NBR 4 イオン源
29 Oリングφ70×3.55 NBR 1 イオン源
30 Oリングφ90x3.55 NBR 1 イオン源
31 Oリングφ13x2 NBR 4 イオン源
32 Oリングφ7x2.65 NBR 14 イオン源
33 スケルトンオイルシール10x22x7 NBR 10 アークソース
34 Oリングφ18x3 NBR 10 アークソース
35 Oリングφ105x5 FKM 5 アークソース
36 Oリングφ108x5 FKM 5 アークソース
37 Oリングφ815x6 NBR 2 アークソース
38 Oリングφ65x4 NBR 3 単位
39
Oリングφ160x5 NBR 2 単位


引き合い