スペアパーツ一覧
| NO。 | 項目 | 材料 | 数量 | 目的 |
| 1 | シールリングφ2.5x2.5 | FKM | 2 | 温度計 |
| 2 | Oリングφ15×4 | FKM | 4 | ゲージホルダー |
| 3 | Oリングφ25x4 | FKM | 16 | ヒータ |
| 4 | オイルシール15x35x10 | ゴムⅠ | 1 | 電気格子バルブ |
| 5 | Oリングφ42x4 | NBR | 2 | 電気格子バルブ |
| 6 | オイルシール10x22x7 | FKM | 4 | 180検査ウィンドウ |
| 7 | Oリングφ104x4 | FKM | 4 | 180検査ウィンドウ |
| 8 | スケルトンオイルシール10x22x7 | NBR | 10 | フランジアーク源 |
| 9 | Oリングφ18x3 | NBR | 10 | フランジアーク源 |
| 10 | Oリングφ108x5 | FKM | 5 | フランジアーク源 |
| 11 | Oリングφ112x5 | FKM | 5 | フランジアーク源 |
| 12 | オイルシール40x62x10 | FKM | 3 | 回転スタンドの主軸 |
| 13 | Oリングφ105x5 | FKM | 2 | 回転スタンドの主軸 |
| 14 | Oリングφ880x10 | NBR | 1 | トリニティバルブ |
| 15 | Oリングφ408x7 | NBR | 3 | トリニティバルブ |
| 16 | Oリングφ64x4 | FKM | 3 | トリニティバルブ |
| 17 | Oリングφ31x4 | FKM | 9 | トリニティバルブ |
| 18 | Oリングφ450x8 | NBR | 3 | トリニティバルブ |
| 19 | Oリングφ52x4 | NBR | 1 | 600バイパスバルブ |
| 20 | Oリングφ24x4 | NBR | 3 | 600バイパスバルブ |
| 21 | Oリングφ150x4 | NBR | 1 | 600バイパスバルブ |
| 22 | Oリングφ105x5 | NBR | 1 | 600バイパスバルブ |
| 23 | Oリングφ51x4 | NBR | 2 | 100バルブ |
| 24 | Oリングφ24x4 | NBR | 6 | 100バルブ |
| 25 | Oリングφ135x4 | NBR | 2 | 100バルブ |
| 26 | Oリングφ100×5 | NBR | 2 | 100バルブ |
| 27 | Oリングφ174x4 | NBR | 1 | 150バルブ |
| 28 | Oリングφ51x5 | NBR | 1 | 150バルブ |
| 29 | Oリングφ24x4 | NBR | 3 | 150バルブ |
| 30 | Oリングφ150x5 | NBR | 1 | 150バルブ |
| 31 | リップタイプパッキンL4760 | 真空ゴム | 1 | シリンダー |
| 32 | シールリングφ212x5 | NBR | 1 | 単位 |
| 33 | シールリング φ150x4 | NBR | 1 | 単位 |
| 34 | シールリング φ170x5 | NBR | 1 | 単位 |
| 35 | シールリング φ85x4 | NBR | 3 | 単位 |
| 36 | シールリング φ84x4 | NBR | 3 | 単位 |
| 37 | シールリング φ104x4 | NBR | 3 | 単位 |
| 38 | Oリングφ12xL3180 | FKM | 1 | アークソース |
| 39 | Oリングφ115x4 | NBR | 12 | 70台のビルドプレート |
| 40 | Oリングφ35×3 | NBR | 2 | アークソースバッフルブラインドプレート |
| 41 | Oリングφ130x4 | NBR | 1 | セントラルヒーターブラインドプレート |
| 42 | Oリングφ105x5 | NBR | 1 | 回転ブラインドプレート |
| 43 | Oリングφ45x3 | FKM | 2 | 格子バルブホルダーブラインドプレート |