ルーツポンプの原理

- Mar 16, 2018-

ルーツポンプのポンプ室には、一対の平行軸上に互いに直交するように取り付けられた2つの「8」のロータがあり、これら2つのロータを1対のギヤで駆動し(駆動比1)、同期回転移動反対方向に。 2つのロータ間、及びロータとポンプケーシングの内壁との間には、高速動作を実現できる一定のクリアランスが存在する。 ルーツポンプは内部圧縮を有しておらず、その圧縮比は通常非常に低いので、 したがって、高真空ポンプと中真空ポンプにはバッキングポンプが必要です。 ポンプ自体の構造および製造精度を除いて、ルーツポンプの最終的な真空もバッキングポンプの最終的な真空に依存する。 ポンプの最高真空度を高めるために、ルーツポンプを直列に使用することができます。


ルーツポンプの作動原理は、ルーツブロワーの作動原理に類似している。 ロータが連続的に回転することにより、吸入ポートからロータとポンプシェルとの間の空間v0に吸入され、排気ポートから排気される。 v0空間は吸入後に完全に閉鎖されているので、ポンプ室内のガスの圧縮および膨張はない。 回転子の頂部が排気ポートの縁部に向くと、V0空間が排気側に接続され、排気側のより高いガス圧のためにガスの一部が空間V0に戻され、ガス圧力が急に上昇する。 回転子が回転し続けると、ガスはポンプから排出される。


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