真空装置真空計の分類と用途

- Nov 10, 2020-

真空装置真空計の分類と用途

真空コーティング装置の真空装置の自動制御では、真空測定が必要になることがよくあります。多種多様な真空装置とさまざまな使用圧力範囲により、105Paから10-5paまでのさまざまな真空領域での真空測定に遭遇する可能性があります。一般的に使用されている真空計には、抵抗真空計、熱電対真空計、容量薄膜真空計、イオン化真空計、超高真空計などがあります。真空計の機能を拡張するために、真空計メーカーも製造しています。リモートコントロールとテレメトリー、アナログ出力、RS-232C通信インターフェース、ユーザーが選択して一致させるための圧力調整などの機能モジュール。したがって、完全な真空計の配布は、真空度の測定、デジタル表示、自動範囲切り替え、エラー修正だけでなく、圧力を制御するための圧力設定値信号制御にも、設定圧力に応じて圧力が自動的に調整されます値、また測定値を印刷することができ、PCと接触して通信することができ、離れた場所で真空測定と制御を行うこともできます。 1.工業生産および科学実験における圧力制御機器では、真空装置の真空チャンバー内の真空度を、真空技術の要件に従って所定の値に維持できることがしばしば期待されます。この要件は通常、真空微調整バルブを手動で調整することで完了できます。圧力調整を自動的に完了したい場合は、圧力制御装置を使用して完了する必要があります。圧力制御機器は通常、真空測定ユニット(真空計)、自動圧力調整回路、真空調整弁で構成されています。真空測定と圧力調整を統合した自動制御装置です。主にHY、ZDC、SYK、DL、ZZKなどの家庭用圧力制御機器。圧力制御機器の主な技術指標は、圧力制御範囲、制御精度、流量制御範囲、反応時間などです。これは、真空レギュレーター、制御回路、および真空レギュレーターの性能に依存します。圧力コントローラーは、イオン注入、イオンビームエッチング、真空コーティング、レーザー技術、半導体材料の分野で広く使用されています。

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