真空コータ詳細

- Mar 23, 2019-

真空塗装機の詳細

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システム概要

真空コーティング機は、主に、真空イオン蒸発、マグネトロンスパッタリング、MBE分子線エピタキシー、PLDレーザースパッタリング蒸着などを含む多くのタイプを含む、高真空度で行われる必要がある一種のコーティングを指す。 主なアイデアは蒸着とスパッタリングに分けられます。

 

半導体、太陽光発電、電子機器、精密光学機器などのナノメートル表面処理によく使用されます。

 

システム原理

るつぼ内にメッキされるべきターゲット材料は、高圧下で電子銃によって電子が衝突され、それが蒸発され、高真空下で基板上に堆積されてコーティング膜を得る。


システム構成

*自動制御装置:e制御PLCは制御システムの中心的なハードウェアプラットフォームです。

*ヒューマンマシンインターフェースハードウェア:工業用TPC1503 15インチタッチタブレットコンピューター、安定性と信頼性。

*ヒューマンマシンインターフェースソフトウェア:NETSCADA設定ソフトウェア開発プラットフォーム、真空コーティング機の制御と監視を提供します。

 

システム評価

*フィルム形成支持体あたり最大99層。

*自動リバースリバース、両面コーティングが可能です。

*サポート対象材料、機器パラメータ、プロセスパラメータなどをインポートするExcle。

ターゲットのシームレス加熱制御を達成するために電子銃のピクセル点数のカスタム制御をサポートする。

*加熱部が異なると、溶融材料の均一な温度と溶融材料の効率の両方を確保するために、異なる蒸発モードが採用されます。

*ワンクリックスタート、製造開始から製造終了までマウスをクリックするだけで、あらゆる種類の製造プロセスが自動的に完了します。

*バッチ番号データ管理スキーム、生産情報のリアルタイム自動保存、利用可能な生産データ。

リモートネットワーキングポートを提供し、リモートマルチシステム集中制御および管理を容易に実現するネットワーキングソリューション。

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