真空コーティング装置 バーチャルリーク およびリークホール
1.バーチャルリーク：
漏れは、不適切な設計または製造プロセスに起因し、ガス源を保管するために真空コーティング装置に穴を形成する。 これらのガスは真空環境下でゆっくりと放出され、これは漏れと同様であり、漏れのために短い。
例えば、真空コーティング装置の締結ねじは空気孔を有さず、溶接継ぎ目の交差設計と穴による不完全溶接がすべて漏れ現象を引き起こしている。
2. 漏れ穴：
漏洩孔は、真空コーティング装置の電気真空装置において、ミクロンサイズの小さな漏れ孔である。 空気中の塵や液体は、漏れ孔の閉塞を起こしやすくなります。 その時に修理しても一時的です。
したがって、漏れ検知部を注意深く取り扱い、漏れ穴を埃や油脂が塞がないように、手で触れないようにしてください。
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