真空システムの典型的なタイプ

- Jun 30, 2018-


特定のプロセス要件を満たし、特定の要求される真空を取得し測定することができるシステムは、真空システムと呼ばれています。 より完全な真空システムは、真空チャンバ、必要な真空ポンプまたは真空ユニット、真空測定装置、接続導管、真空バルブ、トラップおよび他の真空コンポーネントおよび電気制御システムからなる。 代表的な真空システムを図1と図2に示します。

 

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1.真空チャンバブリードバルブ 2.イオン化真空ゲージ3.熱電対真空ゲージ4.流量調節バルブ

5.高真空バルブ 6.拡散ポンプ7.ガス貯蔵タンク

8.熱電対ゲージ(拡散ポンプ前段圧力測定) 9.バッキングバルブ10.圧力センサ

11.プレポンプバルブ 12.ルーツ真空ポンプ13.バイパスバルブ14.電磁ブリードバルブ

15.機械式真空ポンプ


図1代表的な真空システムの概略図

 


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1.真空チャンバ 2.イオン化真空ゲージ3.熱電対真空ゲージ4.デフレーションバルブ

5.高真空バルブ6.コールドトラップ7.拡散ポンプ8.バッキングバルブ9.電磁ブリードバルブ

10.機械式真空ポンプ 11プレポンプバルブ

 

図2代表的な真空システムの概略図