真空接続ベローズの種類と特性

- Apr 20, 2018-


このペーパーに紹介されているベローズは、ベローズの信頼性の高いシール性能と耐用年数を必要とする曲げ、伸縮、偏心を実現する超高真空システムに使用できます。


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ベローズは、通常、ベローズと溶接ベローズの2種類に分類され、超高真空システムに使用されるベローズの材質は一般にステンレスです。


わずかに大きな口径のベローズを作るために、まずステンレス鋼板をチューブに巻き込み、界面で溶接する。 ベローズ金型にシリンダーを挿入し、油圧により成形ベローズを完成させます。


超高真空システムでは、分子ポンプと機械ポンプを接続するベローズは、両端にNWフランジを備えた成形ベローズを使用します。


ベローズを形成する利点は、製造が簡単で低コストであることである。 欠点は、柔軟性の欠如です。 溶接されたベローズは成形ベローズを構成するには不十分である。


溶接ベローズは、環状ステンレス鋼シートの内径と外径とを交互に溶接することによって作られた薄肉プリーツホースである(以下の画像のように)。 溶接方法はプラズマ溶接である。 この種のベローズは、非常に柔軟性があり、超高真空システムと様々な種類の運動導入器との接続に不可欠な構成要素である。 ベローズの自然長さは合理的に選択されなければならず、その寿命は1万回以上に達することがあります。


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