PVDコーティング装置の駆動システムおよび冷却システム

- Mar 31, 2018-

運転システム


駆動システムは、基板をスパッタリング蒸着のための装置に基板を置くことから、処理の完了後に装置から流出させることを可能にする。 駆動系は、駆動モータ、スクロールホイール、周波数変換器等で構成されている。 ドライブシステムを追加する理由は次のとおりです。

(1)均一な厚さのコーティングが広く分布していることを確認する。

(2)自動変速機の実現が容易。

 


冷却システム


冷却システムは、主に目標循環水分子ポンプ、チャンバ、ポンプ群および駆動モータ冷却循環水で構成されている。 主な機能は、真空チャンバ、ポンプ、ドライブ、電源などを冷却することです。冷却水の要件は次のとおりです。

(1)温度:17〜22 ;

(2)圧力:2~3e0.05Pa;

(3)磁性粒子を水から除去し、水を軟化させる必要があります(pH = 6〜8)。