運転システム
駆動システムは、基板をスパッタリング蒸着のための装置に基板を置くことから、処理の完了後に装置から流出させることを可能にする。 駆動系は、駆動モータ、スクロールホイール、周波数変換器等で構成されている。 ドライブシステムを追加する理由は次のとおりです。
（1）均一な厚さのコーティングが広く分布していることを確認する。
（2）自動変速機の実現が容易。
冷却システム
冷却システムは、主に目標循環水分子ポンプ、チャンバ、ポンプ群および駆動モータ冷却循環水で構成されている。 主な機能は、真空チャンバ、ポンプ、ドライブ、電源などを冷却することです。冷却水の要件は次のとおりです。
（1）温度：17〜22 ℃ ;
（2）圧力：2~3e0.05Pa;
（3）磁性粒子を水から除去し、水を軟化させる必要があります（pH = 6〜8）。