ナノメートル薄膜の発色機構
蒸着によって何らかの材料が得られる場合、フィルムは最初の蒸着段階、つまり島から膜への移行時間中に透明になります。
ナノフィルムの色のメカニズムは、主に2つの光学定数n値とk値に依存します。 堆積した膜が一定の厚さに達し、変化しない場合、k値が大きいほど、膜の2番目の界面から反射される光エネルギーが少なくなり、2つの界面間に形成される干渉現象が少なくなります。 フィルムが示すのは、固有吸収時の材料の色です。 k値が小さくなると、フィルムの2番目の界面での反射光エネルギーが増加し、2つの界面によって形成される干渉現象がより明確になります。 フィルムが示すのは、フィルムの2つの界面の干渉色です。
具体的な説明:波長380〜760 nm内の第1周期コヒーレンス条件が満たされる場合、透明基板上のフィルムの色は反射、透過、吸収です。 不透明な基板では、フィルムの色は反射と吸収です。 堆積膜厚が増加すると、コヒーレント波の2つの界面で反射された膜が干渉現象を引き起こす可能性があり、膜厚が最初に1/4波長のライトブルーライトの厚さに達すると、最初にブルーが増加することを意味しますまたは吸収されるため、残りの緑と赤の光は、フィルムの色の特性評価の初期プロセスである0から20ナノメートル以内に淡黄色から黄色として、厚さが増すにつれて、フィルムは黄色、青、アマランスなどに見えます干渉色。 フィルムの厚さが2回目のサイクルに入ると、堆積の厚さが不均一になるため、フィルムは7色で表示されます。 上記の説明は、k値がゼロまたはk値が非常に小さい場合に限定されます。 この時点で、実際には、干渉現象で覆われている色の現象があり、材料自体の色です。 k値が小さい場合、固有吸収は非常に弱いです。 k値がある値に達すると、固有吸収が増加し、干渉が弱くなります。 したがって、このフィルムは、色を示すフィルムの特性である体内吸収と同じ特性を示します。
一般的な薄膜材料は、主に窒化物、酸化物、炭化物です。 これらの半導体材料の色は異なります。 これはバンドギャップに関連しています。 ドーピングが少ないと色はほとんど変化せず、ドーピングが多いと変化があります。 不純物は禁制帯で異なるエネルギーレベルを形成します(不純物の種類に応じて、より多くの不純物を混合すると、中間バンドと呼ばれる、またはガイドバンドの底部、価電子帯の上部などにリンクされる不純物のローカルバンドが形成されます。 )、可視光の吸収に影響を与え、色を変更します。
不透明基板用の金属化合物フィルムのカラーテーブル
炭化物 | 色 | 窒化物 | 色 |
Be2C | 赤 | BeNx | グレー |
YC2 | 黄 | MgNx | 黄緑 |
LaC2 | 黄 | LaN | 黒 |
CeC2 | オレンジ | TiNX | 黄金色の黄色 |
チック | ZrN | 黄緑 | |
ZrC | ブライトグレー | HfN | 黄褐色 |
NbC | TaN | ブルーグレー | |
TaC | 明るいクロテン | CrNX | 暗灰色 |
CrCX | グレー | WN | 褐色 |
トイレ | グレー | MnN | 黒 |
TiNOX | 虹、青、緑、紫赤 |
透明基板付き金属化合物フィルムのカラーテーブル
色 | 酸化物 | 色 | |
CrOx | ライトブラック | FeOX | アンバー |
VOx | 土色の黄色 | USU304OX | 黄金色の黄色 |
TiOX | 透明な7色 | TiAlOX | 透明な7色 |
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