圧力制御機器の構造と動作原理

- Nov 11, 2020-

圧力制御機器の構造と動作原理、通常、圧力与えユニット、真空測定ユニット(真空ゲージ)、圧力調整ユニット、駆動回路、真空調整バルブ、その他の基本ユニットで構成されています。手動および自動の圧力調整機能があります。ディスクリートコンポーネントを備えた圧力制御機器の場合、特定のユニットは通常ポテンショメータであり、圧力制御ユニットは通常、比例積分(PI)または比例積分微分(PID)の操作機能を備えた操作回路です。マイクロコンピュータの圧力コントローラの場合、特定の単位は通常、キーボードまたはコードディスクによって設定されます。圧力調整ユニットと測定ユニットは、シングルチップマイクロコンピュータシステムに統合されています。圧力調整機能は、シングルチップマイクロコンピュータシステムを使用して、デジタルPID計算による圧力調整を実現することです。駆動回路と真空調整弁に関しては、同じタイプの2つの異なる回路構造の圧力松葉杖はほぼ同じです。圧力コントローラーは、手動および自動の作業条件下で動作できます。スイッチSが手動位置に達すると、圧力コントローラーは手動圧力調整用の手動微調整真空バルブと同等になります。 Sを自動位置に切り替えると、圧力制御機器は閉ループ自動制御システムを構成し、圧力設定値を実現して制御プロセスを自動的に調整します。まず、特定のユニットセットによって圧力値を制御したい。制御対象の特定の特性に合わせて、PID調整ユニットNai Ti、時間などの微分積分時間Tdパラメータの適切な比率を選択します。真空測定ユニットの出力の特性は、真空真空チャンバーの圧力の高低電圧信号で非難されます。 、セクション圧力ユニットの圧力設定は、圧力測定値、および動作の違い(P、PI、PIDなど)と比較できます。次に、駆動回路を介して、真空調整バルブが駆動され、真空へのガスの流れが変化します。真空チャンバー内の圧力を所定の値に維持するために、チャンバー。もちろん、これは理想的な制御状態です。実際、圧力制御機器の圧力調整ユニットの特性により、制御された圧力は、指定された圧力値にのみ近づき、指定された圧力値からの許容偏差範囲内に保つことができます。この偏差の値は、圧力制御機器の圧力制御精度を示します。

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