PVDコーティングターゲット材料

- Dec 22, 2018-

PVDコーティングターゲット材料の選択に注意が必要な事項

高純度平面スパッタリングターゲット

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ターゲット材料の選択において、膜自体の使用に加えて、以下の質問が考慮されるべきです:

 

(1)成膜後のターゲット材料の機械的強度、化学的安定性が良好であること。

(2)ターゲット材料と基板との間の組み合わせは、膜が形成された後に堅固でなければならない。 さもなければ、基板との良好な接着力を有するフィルム材料が採用されるべきであり、そしてベースフィルムの層は必要なフィルム層の準備の前にスパッタリングされるべきである。

(3)反応性スパッタリング用の膜材料として、反応性ガスを有する複合膜を生成することは容易でなければならない。

(4)膜性能要求を満足することを前提として、ターゲット膜と基板との熱膨張係数の差が小さいほど、スパッタ膜熱応力の影響を少なくすることができる。

(5)フィルムの用途と性能の要件に応じて、選択されたターゲット材料は純度、不純物含有量、成分の均一性と加工精度の技術的な要件を満たしている必要があります。