Hollイオン源の原理と応用

- May 13, 2019-

ホリルイオン源の原理と応用

 

イオン源の動作原理

イオン源の種類

イオンエネルギーによると、に分割されています。

APS、RF、Kaufmanイオン源などの高エネルギー200ev以上。

低エネルギー200ev以下のホールイオン源

タイプ別:

カウフマンタイプとホールタイプ

 

イオン源のしくみ

実際の稠密な環境では、電場と磁場の相互作用の下で放出された電子を使用することによって真空チャンバ内に充填されたガスが除去され、電場と磁場の作用の下でイオンが放出される。

 

ホールイオン源の構造原理
コンポーネント:
カソード - 電子を放出
アノード - イオンを生成
ガス経路 - イオン化ガスを供給
電源

 

ホールイオン源の構造

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カウフマンイオン源の構造

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イオン源のイオンエネルギー

スプリットカウフマンイオン源:アノードとグリッド間の電圧
ホールイオン源:アノード電圧の65〜70%

 

IKS PVD、IETコーティング装置、連絡先:iks.pvd@foxmail.com

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