独自に研究開発した160mmビッグアークソースがデバッグ中

- Feb 06, 2018-

今日、私たちが独自に研究開発した160mm大型アーク源はデバッグ中です。 従来の100mmアーク源と比較して、この大きなアーク源は、ターゲットを均一にエッチングすることができ、コーティングプロセスにおけるターゲット材料のイオン化速度を著しく改善することができる。 独立した財産権を有する160mmの大きなアーク源は、速いフィルム形成速度、非常に滑らかなフィルムおよび大きな接着性を保証する。 同時に、小さなアーク源によってめっきされたフィルムのより大きな粒子の問題を解決することができ、160mmの大きなアーク源によってめっきされたフィルムは非常に滑らかで繊細なものになる。

 

デバッグ後、新しいアーク源が当社のツールであるマルチアークイオン真空コーティング機に正式に適用され、この160mmの大きなアーク源を適用することにより、工具PVDコーティング機の性能とコーティング品質が大幅に向上し、 。 160mmの大きなアーク源の開発が成功したことは、真空機器を独立して研究開発する当社の別のマイルストーンです。 将来のR&D能力をさらに強化し、企業の発展と真空コーティング技術の進歩に貢献していきます。


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