真空コーティング装置のメンテナンスに関する注意事項

- Feb 12, 2019-

真空コーティング装置のメンテナンスに関する注意

 

真空コーティング機を使用する際には注意が必要です。

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真空コーティング装置のメンテナンスで何を注意すべきですか?

 

1.通常、システム全体を真空状態に保ち、作業前にガスを充填し、真空チャンバを長時間大気にさらさないでください。

2、頻繁にゴム製シール、特に動的シールリングが良いかどうかを確認し、定期的に動的シールに真空グリスを追加します。

3.電気部品を定期的に点検し、ほこりを取り除き、損傷した部品を交換します。

4.真空状態で拡散ポンプとバルブを取り外さないでください。 分解方法は次のとおりです。まず、真空システム全体を真空状態にし、拡散ポンプを加熱しないように注意を払い、手動で精密抽出バルブを開き、次に放出バルブボタンを押してシステムを大気に満たします。そして、真空チャンバが大気で満たされた後に拡散ポンプとバルブを分解する。

5.ロータリーベーンポンプおよびスライドバルブポンプを停止するときは、電磁弁(または空気圧弁)がポンプチャンバ内に膨らむか、オイルが戻り、真空管を汚染するかに注意してください。 したがって、電磁弁(または空気圧弁)の膨張動作の失敗は、タイムリーに修理または交換する必要があります。

6.北部地域では、寒い季節に、夜間や長時間コーチが止まると、冷却水が凍結したり割れたりするのを避けるために、冷却水を冷却管とポンプ本体から圧送する必要があります(ジャケット)とポンプ本体。

7.精密ポンプシステムは真空圧力が3Paに達した後にだけ働くことができます。 ポンプが高すぎる圧力で汲み上げられると、拡散ポンプオイルを酸化し、ポンピング能力を低下させ、ポンプオイルの耐用年数を短くします。

図8に示すように、真空コーティング装置が清潔な作業環境を有することを確実にするために、スライドバルブポンプからのガスは多くの小さな霧を含んでいるので、スライドバルブポンプ排気ガスを使用して作業室から排出しなければならない。 それが作業室の外にない場合は、慎重な洗浄処理後のワークピースの表面が、それでもまだすぐに小さなオイルミスト汚染、フィルムの品質への深刻な影響になりますが、負荷でワークピースをメッキされています。

9.水は作業の過程で遮断されてはならず、使用される冷却水は清潔でなければならず、硬水または混濁水は冷却水として使用されてはならない、さもなければスケール層が冷却水に堆積する冷却効果に影響を与えるパイプ。

10.ワークホルダーが回転するときに500MM以内に立つことは固く禁じられています、そしてそれが止まるとき後ろに立つことは信頼できます!