頻繁に使用されるCFフランジのモデルとサイズ

- May 30, 2018-


CFフランジの内側には、酸素を含まない銅ガスケット(または他の軟質金属)を圧搾して密閉して真空シールを保証する凸状の鋭利な縁がある。 超高真空システムで広く使用されている全金属封止方法です。 CFフランジは一般にICFフランジとも呼ばれます。 CFの後ろの数字はカテーテルの標準内径であり、ICFの後ろの数字はフランジの外径である。 表1は、一般的に使用されるCFフランジの種類と寸法です。

 

CFフランジは固定タイプとルーズタイプに分かれています。 固定フランジには一体構造が採用されています。 ルース型フランジは、押出銅ワッシャのナイフエッジ部分と、ボルトを通る固定部分とからなる。 スルーホールまたはネジ穴をフランジでタップすることができます。 貫通穴付きフランジはボルトとナットで固定する必要がありますが、ネジ穴付きフランジはボルトで直接固定する必要があります。 フランジの材質は主にSUS304(またはSUS304L)ですが、SUS304はガスが少なく、加工や溶接が容易です。

 

表1一般的に使用されているCFフランジのモデルとサイズ


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注:n×dの場合、nは穴の数を示し、dは穴(mm)を示します。

 

CFフランジはオスとメスの両方を特徴とし、無酸素銅ガスケットを含むすべての部品は金属製であるため、高温(250℃以上)に耐えることができます。 欠点は、価格が高く、無酸素銅ガスケットを繰り返し使用できないことです。

 

CFフランジの取り付け

CFフランジの取り付け要件はかなり高いです。 無酸素銅ガスケットは、圧搾後に変形するので、ボルトを等しく締めることが非常に重要です。 ボルトが均等に押されていないと、反対側のコーナーのフランジが傾いてシステムが漏れます。 ボルトの締め付けトルクは、M4ボルト20kgf cm、M6ボルト70kgf cm、M8ボルト100kgf cm程度です。

 

CFフランジの注意

CFフランジを使用する場合、注意すべき点がいくつかあります。ボルトとナットがスナップしないように、ボルトにMoS2をコーティングする必要があります。 フランジは外周に位置合わせする必要があります。 ベーキング後にボルトをさらに締め付けるためのスペースを確保するため、フランジ面は一定の距離に保つ必要があります。

 

CFフランジの場合、ブレードを金属シールに切って真空シールを確実にしてください。 長期間使用する場合、ブレードは徐々に鈍くなります。 加えて、ブレードは硬化剤に当たった後に傷害を受けやすい。 この対策の1つは、IPDメタルシールを使用することです。 IPD金属シールは、フランジの縁に頼らず、シールするためにナイフエッジの傾斜に頼っています。