適切なターゲットを選択するには、コーティングの適用に加えて、次の点を考慮する必要があります。
◆膜形成後の機械的強度及び化学的安定性が良好であること。
◆ターゲット膜が形成された後、基板との良好な結合力が必要です。 さもなければ、基材との良好な接着性を有するフィルム材料を使用すべきである。 最初に、底部フィルムの層がスパッタされ、次いで所望のフィルム層が堆積される。
◆反応スパッタリング膜に用いられる膜材料は、反応性ガスと容易に反応して化合物膜を形成する必要があります。
◆コーティング性能要求を満たすことを前提として、ターゲットと基板の熱膨張係数の差が小さいほど良い。 熱応力の影響を低減するために
◆選択したターゲットは、純度、不純物含有量、部品の均一性、加工精度などの技術的要件を満たさなければなりません。
