PVDコーティングターゲットを選択する際に注意が必要な事項

- Mar 28, 2018-


ターゲットを選択するときは、コーティングの適用を除いて、次の点も考慮する必要があります。


◆ターゲットによって蒸着されたコーティングは、良好な機械的強度と化学的安定性を持つ必要があります


◆ターゲットによって蒸着されたコーティングは、基材との良好な結合力を持つ必要があります。 さもなければ、基板への良好な結合力を有するコーティング材料を使用し、最初に基底膜をスパッタリングして堆積させ、次いで所望のコーティングを調製しなければならない。


◆反応性スパッタリングで成膜するため、ガスとの反応や化合物膜の生成が容易でなければなりません。


◆皮膜性能要求を満たすことを前提として、ターゲットと基板の熱膨張係数の差が小さいほど、熱応力の影響を低減することができます。



◆目標は、純度、不純物含有量、部品の均一性、加工精度などの技術要件を満たさなければなりません。