真空コーティング装置のメンテナンスのヒント

- May 25, 2018-

1.真空コーティング装置は、200回のコーティング工程ごとに清掃する必要があります。 この方法では、真空チャンバー壁を苛性ソーダ(NaOH)の飽和溶液で繰り返し洗浄しています(人の皮膚は火傷を防ぐために苛性ソーダ溶液と直接接触できません)。 その目的は、コーティングされた材料をNaOHと反応させて、層が脱落して水素を放出させることである。 その後、真空チャンバーをきれいな水で掃除し、ガソリンに浸した布で吸引バルブの内部に汚れを浸します。

 

2.粗引きポンプ(スライドバルブポンプ、ロータリーベーンポンプ)が1ヶ月間(雨季の場合は半月)連続して作動する場合は、新しいオイルを交換する必要があります。 この方法では、オイル・ボルトを開き、古いオイルを出してから数秒間ポンプをオンにして、ポンプ内の古いオイルを完全に排出します。 次に、オイルボルトをねじって、新しいオイルを定格容量に追加します(オイルサイトグラスで観察)。 半年以上連続して使用した後、オイルカバーを開き、オイルを交換するときは布で箱の内部を掃除してください。

 

3. 6ヶ月以上使用した後は、拡散ポンプの排気速度が著しく遅くなるか、または不適切な操作に遭遇します。 ポンプを大気に満たし、接続されている水道管を取り外し、電気炉のプレートを取り外し、第1レベルのノズルをねじってください。 ガソリンでポンプチャンバーとシリンダーブロックを掃除し、最後に洗浄粉末で再び掃除し、最後にきれいな水で徹底的に洗ってください。 水が蒸発した後、シリンダーブロックを取り付け、新しい拡散ポンプオイルを加えて機械に戻し、水道管を接続して電気炉を取り付け、ポンプをオンにします。 再起動する前に、リーク検出に注意してください。 この方法では、保持ポンプをオンにしてドアを閉じ、数分後に拡散ポンプの部分真空が6×10 Paに達したかどうかを観察し、そうでない場合は漏れ検出を行います。 シールがジョイントに取り付けられているか、シールが潰れていないか確認してください。 加熱する前に熱を逃がしてください。そうでなければ、拡散ポンプのオイルが燃焼して作動できなくなります。