真空成膜機のメンテナンスの手順

- May 24, 2018-

まず、コーティング マシンは、地面に完全に接触が確保されなければなりません。拡散ポンプと油ブースター ポンプ熱する前に冷却水を接続する必要があり、保持ポンプをオンにします。その上、拡散ポンプとブースター ポンプが動作を停止した後半分の時間保持ポンプを維持しなければなりません。水は、1 時間後に切断する必要があります。しかし、ポンプは 80 ° C 以下に冷却されていない場合、冷却水ポンプ コアが焼かれるを防ぐためを切断する必要があります。


拡散ポンプとブースター ポンプの両方スタンバイの水の出口があります。塗装機や電源が失敗した場合、スタンバイのアウトレットは拡散ポンプとブースター ポンプを冷却する使用する必要があります。コーティング作業前に電極と基板が焼かれるを防ぐために冷却水システムにすべての機器を接続しなければなりません。拡散ポンプとオイルポンプのブースター ポンプ油の酸化を避けるために、暖房の下で大気に触れることに来てはなりません。チェックし水カットオフ アラームが正常かどうかを見るために定期的に水流れリレーを調整し、装置冷却水の供給がブロックであることを確認します。 分解し、組み立てるとき機械傷や塗装機の信頼性の高いシール性能を確保するための被害からシールの作業面を保護するために気をつけて機械部品をコーティングします。


トランス ミッション シャフトの真空の部品のすべての「フレームワーク オイル シール」の形で密封されています。フレームワークのオイルシールは、真空グリース、拡散ポンプ油の非常に低い飽和油蒸気圧で満ちています。それはしばらくの間、着用し、同じ真空グリースと拡散ポンプ油で満たされる必要があります。代わりに他の油を使わないのでご了承ください。