マグネトロンスパッタリングコーティング

- Aug 20, 2020-

マグネトロンスパッタリングコーティング
マグネトロンスパッタリングコーティングの原理:
電子を加速して電界の作用で基板に飛ぶ過程で、それらはアルゴン原子と衝突し、基板に飛ぶ多数のアルゴンイオンと電子をイオン化します。電場の作用下で、アルゴンイオンはターゲット材料の衝撃を加速し、多数のターゲット原子をスパッタリングし、中性のターゲット原子(または分子)を基板に堆積させて膜を形成します。
マグネトロンスパッタリング原理。

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