真空コーティング装置の知識、フレッシュマンのために保存

- Dec 06, 2018-

新鮮な人のための真空コーティング装置の知識

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1.真空コーティング装置とは何ですか?

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真空コーティング装置は、主に、真空イオン蒸発、マグネトロンスパッタリング、MBE分子線エピタキシー、PLDレーザースパッタリング堆積などを含む多くのタイプを含む、高真空度で実施される必要があるコーティングの種類を指す。 主な考え方は、蒸発とスパッタリングに分けられます。

 

被覆が必要なものは基材と呼ばれ、被覆された物質は標的物質と呼ばれる。 基板は、ターゲット材料と共に真空チャンバ内にある。

 

蒸発コーティングは、一般に、ターゲット物質を加熱して、原子団またはイオンの形態の表面成分が蒸発し、膜形成プロセス(散乱島構造 - 迷走神経構造 - 層成長)を介して基板の表面に堆積する。フィルムを形成する。 スパッタリングコーティングのためには、電子または高エネルギーレーザーを用いてターゲット物質を衝突させ、原子団またはイオンの形で表面成分をスパッタリングし、最終的に基板表面に堆積させ、膜形成を経験するオーバー蒸発コーティング装置+コーティング製品ダイヤグラム蒸発コーティング装置+コーティング製品ダイヤグラム、そして最終的にフィルムを形成する。

 

2.ステップを使用した真空コーティング装置

 

(1)電気制御キャビネットの動作

 

1)オープンウォーターポンプとガス供給源

2)総電源を開放する

3)メンテナンスポンプ、真空計電源、真空ゲージファイルの位置V1を開き、次の操作に入る前にその値が10未満になるのを待ちます。 約5分かかります。

4)機械式ポンプの電源を入れ、プリパンプを入れ、タービンの分子ポンプの電源を入れて起動します。 真空ゲージをV2の位置に切り替え、2分以内に約20分間ポンプをかけます。

5)タービン分子ポンプの読み取り値が250に達した後、ポンプを閉じて、フロントマシンとハイバルブを開き、真空引きを続けます。 真空が一定のレベルに達した後で、右側の高真空ゲージヘッドを開いて真空度を観察することができる。 ガンの電源を入れる前に真空が2 x 10-3に達する。

离子源1

(2)DEF-6B電子銃パワーキャビネットの動作

 

1)主電源を入れる

2) 電子銃制御 電源、遅延スイッチ、遅延、電力 に応じて ガン制御 とガン制御 を同時に オンにし、時間遅れから3分後に光を保護して保護するランプが消灯し、バックドアが閉じられていないか、または電流リレーが誤動作していると、保護は通常オンになります。

3)高電圧を開放し、高電圧は10KV以上に達し、ビームの流れを約200mAに調整し、カーテングリッドは20V / 100mA、フィラメント電流1.2a、1と1.7の間の偏向電流スイングとする。

 

(3)。 それをオフにする順序

1)高真空ゲージヘッドを閉じ、分子ポンプを閉じます。

2)分子ポンプが50に表示されたら、高弁、前段、メカニカルポンプを連続して閉じる。約40分かかる。

3)50未満の場合、メンテナンスポンプの電源を切ってください。

 

3.真空コーティング装置の適用範囲

 

(1)建築用ハードウェア:浴室ハードウェア(ウォータータップなど)、ドアロック、ドアハンドル、バスルーム、ドアロック、ハードウェアの葉、家具など

(2)時計製造業界:時計ケース、時計バンドコーティング、水晶製品に使用することができます。

(3)他のハードウェア:皮革ハードウェア、ステンレス食器、眼鏡フレーム、ナイフ、金型など

(4)大型ワーク:自動車用ホイールハブ、ステンレス鋼板、看板、彫刻等

(5)ステンレス鋼管・鋼板(各種表面)

(6)家具、ランプ、ホテル用品

(7)ロック、ハンドル、バスルームのハードウェア、ゴルフヘッド、ステンレス製の食器、血液やその他のハードウェア製品は、スーパーハード装飾フィルムでめっき。

(8)メガネ、ジュエリー、その他のアクセサリには、耐摩耗性の高い装飾(金銀)ナノフィルム、ナノフィルム、ナノラミネートフィルムが施されています。

 

4.ケアおよび維持方法の方法

 

(1)真空コーティング装置は、200回以上のコーティング手順が完了するたびにスタジオを掃除する必要があります。

この方法は次の通りです:真空壁をNaOH飽和溶液で繰り返し洗浄します(ただし、人間の皮膚はアルカリ溶液と直接接触することができないため、燃焼しないように注意してください)反応後、膜層が脱落し、水素が放出される。 真空チャンバーをきれいな水で掃除し、ガソリンに浸した布で細かい抽出バルブ内の汚れをきれいにします。

 

(2)ラフポンプ(スライドバルブポンプ、ロータリーベーンポンプ)が1ヶ月間(雨季の半分)連続して作業する場合は、新しいオイルを交換する必要があります。

方法は次のとおりです:オイルのボルトをねじで締め、古いオイルをはずし、ポンプの古いオイルが完全に排出されるように数秒間ポンプを始動してください。 リワインド・オイル・ボルトをねじ込み、新しいオイルをその量に加えます(オイル・ミラーで観察)。 半年以上連続して使用する場合は、油を交換するときにオイルキャップを開き、布の中の汚れを拭き取ります。

(3)6ヶ月以上連続して拡散ポンプを使用すると、ポンピング速度が著しく遅くなるか、または不適切な操作で空気が満たされ、リンクプレート、電気プレートが一次ノズルから圧搾され、ガソリンポンプのキャビティとポンプの勇気が使用されます最初にきれいに洗剤の水で再びきれいにし、清潔な水できれいに完全にきれいに洗浄し、水分は、ポンプをインストールした後に乾燥揮発し、新しい油拡散ポンプを追加し、本体に接続し、接続パイプ、電気ストーブディスクを再起動することができます。 マシンを再起動する前にリーク検出に注意してください。 方法は次のとおりです:メンテナンスポンプを始動し、数分後にドアを閉じ、真空の拡散ポンプ部分を観察して、最大6×10 Paまで、または漏れを検出する。 ジョイントにシールリングが装着されているか、シールリングが破損していないか確認してください。 加熱する前に潜在的なガス漏れを取り除く。さもなければ、拡散ポンプオイルはリングを燃やし、作動状態に入ることができない。