真空成膜機を購入のポイント

- Mar 08, 2018-

真空コーティング マシンを購入するための主なポイントを次に示します。


1 真空システムは、機械式ポンプ、拡散ポンプ、ブースター ポンプ、ルーツ ポンプ、ターボ分子ポンプで構成されています、さまざまな似合い空気弁、手動弁、電動バルブ、パイプライン、などなど。


2. 熱蒸発、電子ビーム蒸着法、スパッタリング、反応性スパッタリング、イオンプレーティング、ホロー陰極などを含むプロセスの要件によると仕様が異なるなどのコーティング装置を選択します。イオンプレーティング、マルチアーク イオンプレーティング等。


3. 炉体はステンレス鋼、炭素鋼または二重層の組み合わせの構造を水冷にすることができます。


4. クランプは回転、軌道運動と回転 + 軌道運動を含むモードを実行しています。ユーザーは、基板の大きさ、形状によると回転速度、回転範囲と回転精度等対応する要件を作成できます。


5. 膨らませる質量流量計、フロート式流量計 + ニードル ゲージおよび対応する充電バルブ システムがすることができます、ユーザーが複数のガス充電パイプラインおよび対応するフロー パラメーターを選択することも。


6. コーティング方法の選択とプロセスの要件に従ってフォームをコーティング、真空計測システムは、デジタル インテリジェント真空計と高品質測定計、その他計測器をすることができます。膜厚測定システムは、正方形抵抗計や浸透率計を測定をすることができます。


7. 機器の応用の特徴によると制御システムは手動することができます制御方式、半自動制御方式、全自動制御方式またはそれらの組み合わせ。


8 完璧な警報システム真空チャンバー本体、水の不足、拡散ポンプの故障、空気圧、過電圧、過電流、異常等の警報音光を与えることができます。


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