真空コーティング業界では、アルゴンの流量を制御するには?

- Jan 07, 2021-

真空コーティング業界では、アルゴンの流量をどのように制御するのですか?

コーティング時の圧力調整に使用されるガスは以下の通りです:アルゴンガスは圧力を調整するためにのみ使用され、一次圧力は無視できますが、二次圧力は0.5気圧未満です。窒素は、主に大きすぎると真空チャンバー内の圧力が劇的に変化し、エラーにつながるためです。イオン源を使用する場合、アルゴンガスの摂取量が大きすぎないようにして、イオン量が多くなり、部品を焼き尽くす。圧力とそれに違いはありません。

cutting blade coating machine大気中の固体材料は、ガスの一部を溶解吸収し、材料が真空中に置かれると、ガスの脱着、分析に起因する。呼気速度は材料中のガスの量に比例する。異なる材料は、ガス組成を解決し、温度と時間が異なって解決します。
ガスのポンプ速度の異なる成分に様々なポンプは同じではありません。真空を行うとき、容器内の大気は最初に取り除かれ(ガスのこの部分はすぐに取り除かれ、炉内のガスは基本的に10-1paで排出される)、次に材料表面に脱着したガス、材料の内部から表面に拡散したガス、そして容器の壁を通して真空中にガスが浸透する。そのため、商品が炉に入った後、熱脱気を行う必要があるが、その商品は炉に入る前に不純物ガスを吸収するから、これらのガスが適切な加熱を通じて商品の表面を解決できるようにする。例えばステンレス鋼を取る、ガスの表面に吸着することに加えて、鋼内の連続加熱および熱保存の過程で、ガスの一部を沈殿させるであろうが、これらのガスの存在は、しばしば膜の純度および色に大きな影響を与える、フィルム密着性も大きな影響である。
従って、真空コーティング機のコーティングは、膜の品質、ガスが重要な役割であり、コーティング工程において不可欠なステップである。


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