光真空コーティング装置のメンテナンス方法

- Feb 18, 2019-

光学真空コーティング装置のメンテナンス方法

 

光学式真空コーティング装置は、主に真空コーティング機械室、真空ポンプ設定限度および電気キャビネット(制御キャビネット、電子銃電機子)で構成され、マイクロエレクトロニクス、光学フィルム、土木装飾、表面工学およびその他の分野で広く使用されています。 光学式真空コーティング装置は、油汚染の防止と作業期間の短縮に優れた性能を発揮します。

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光学式真空コーティング装置の動作原理は、電子ビームを使用して高真空下で金属または非金属材料を適切な温度に加熱することです。その後、材料は蒸発して蒸気分子になります。 その平均自由行程は、蒸発源から蒸発する基板までの距離よりも大きく、蒸発する蒸気分子はあらゆる方向に発射し、基板の表面に堆積してワックス層を形成する。

 

どのようなメンテナンス対策のメンテナンスで精密光学真空コーティング装置は、以下の内容を理解させていただきます。

 

I.拡散ポンプオイルを定期的に交換する

 

真空塗装機の拡散ポンプ油の使用期間、約2ヶ月2つのクラス:長期高温環境では、拡散ポンプを起動するときより高い真空が、まだ残留酸素や他の成分と拡散ポンプオイル反応、高温での拡散ポンプオイルはまた、その品質が低下するように、クラッキングを生成する可能性があり、そしてポンピング時間を延長する。 私達が時間が余りに延長されたと思うときそれは取り替えられるべきです。

 

、真空ポンプ

真空塗装機の機械ポンプオイル、2ヶ月の使用でオイルのメンテナンス、オイルの品質が変わります。 油は水、不純物、その他の理由で汲み上げられる可能性があるため、油の粘度が悪化し、真空度が低下します。 そのため、交換する必要があります。 慣らし運転期間中、オイルにはより多くの鉄粉が含まれているため、新品の機器の場合は使用の上半期に交換する必要があります。

 

清潔さと衛生

安全のために良好な作業環境を確保するために、真空コーティング装置とその周囲環境を定期的に清掃し、装置の内側と外側をきれいに保ち、真空コーティング装置の周囲環境を整頓してください。

 

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