PVD真空塗装機の高圧電源の故障解析

- Feb 27, 2019-

PVD真空塗装機の高圧電源の故障解析

 

科学技術の発展と共に、光電技術の応用はあらゆる人生の歩みの奥深くまで深まってきました。 真空コーティング機は、電子部品産業の製造と開発に広く使用されています。 以下に、典型的な欠点の高圧電源部分の真空コーティング機の簡単な紹介。

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欠点:

図1に示すように、電子ビームを増加させるとき、高圧はビームスポットの位置が中心にないことを示さず、電子ビームはるつぼの縁に衝突し、その結果表示なしで高圧が生じる。 (2)中央のスポットの位置は、蒸し材料が壊れているため、指示なしに高圧になります。

 

2、ビームなし、高電圧表示不安定負荷問題。 (2)通常の負荷、高圧電源の問題。 (3)真空室に汚染がある。 真空チャンバーが汚染されている場合は、電子銃、るつぼ、高圧電極を徹底的に清掃することができます。 そうでなければ、部品とベルジャーは徹底的にきれいにされることができます

 

消去方法:

高電圧計を使用して高電圧部の出力電圧を測定し、それが正常かどうかを確認します。 正常であれば、交換方法などで自動リセット部のメインスイッチ回路が正常かどうかを確認してください。 それが異常であるならば、それはそれがこの部分の回路問題であることを示します。 誤動作を取り除き、高電圧インジケータを正常に戻します。

 

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