マグネトロンスパッタリングコーティングの結果に影響を与える要因

- Feb 19, 2021-

マグネトロンスパッタ塗布の結果に影響を与える要因

図1は、スパッタリングパワーの影響により、基材やコーティング材の場合には、プロセスパラメータの選択が、コーティングの成長速度および品質に大きな影響を与える。その中でもスパッタリングパワーの設定は、両方の面に大きな影響を与えます。

空気圧の影響:マグネトロンスパッタリングは低圧で高速で行われるため、ガスのイオン化速度を向上させ、ガスをプラズマ化する必要があります。スパッタリング力が固定される条件下では、マグネトロンスパッタリングに対する空気圧の影響を分析します。

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