PVDコーティング装置の環境要求

- Jan 20, 2018-

真空コーティング機は真空条件下で作動しているので、装置 は真空の 環境要件 を満たす 必要 があります。


真空塗装機(一般的な技術仕様の真空塗装装置、 真空イオンめっき装置真空スパッタリング装置および真空蒸着装置を含む)の業界標準は、すべて環境に対する明確な要件を定めています。 真空コーティング装置の環境要件を満たすだけで、良好なPVDコーティングを製造することができる。


真空の環境要件は、大気中の温度や粒子などの真空装置が設置されている実験室(または工場)の環境における真空装置の要件を一般に含む。 真空中または真空状態にさらされた構成要素または表面の要求と同様に。 これらの2つの側面は密接に関連しています。 周囲の環境の品質は真空装置の通常の使用に直接影響を及ぼし、真空チャンバまたはチャンバ内の構成要素は清浄であるか、または装置の性能に直接影響しない。 空気中に多量の水蒸気や塵が含まれている場合、真空チャンバが清潔でない場合、金属を腐食したり、真空油と反応したり、ほこりの粒子を含んだ空気を排出するのには適していません。 水蒸気は一種の凝縮性ガスであり、凝縮性ガスが大量に抽出されると、ポンプ油の汚染がより深刻になる。 その結果、 ポンプの最終的な真空度が低下し、 ポンプのポンピング性能が損なわれる。


産業環境の粉塵は粉体、エアロゾル、粉塵で区別されます。 粉末とは、粉末または固体粒子の集合を意味する。 エアロゾルは、固体または液体分子の形態で空気中に浮遊する物質系である。 材料が固体であろうと液体であろうと、粒子は総称してダスト粒子と呼ばれることがある。 空気清浄度の基準は、塵埃粒子のサイズによって決定され、クリーンルームのレベルをカスタマイズします。


真空コーティング装置の通常の条件:


1.周囲温度:10〜30


2.相対湿度≤70


3.冷却水の入口温度が25 ℃以下であること。


4.冷却水は都市の水道水または同等の水です。


5.電源電圧は380V、三相は50Hzまたは220V、単相は50Hz(電気機器の必要条件により決定)、電圧変動範囲は342V~399Vまたは198V~231V、周波数変動範囲は49~51Hz 。


6.製品の取扱説明書には、必要な圧縮空気、液体窒素、温水および冷水の圧力、温度および機器の消費量を記載する必要があります。


7.周囲の環境はきれいで清潔でなければならず、電気機器やその他の金属部品の表面に腐食を引き起こしたり、金属部品の導電性を引き起こしたりする塵やガスが空気中に含まれてはならない。


さらに、真空装置が設置されているラボやワークショップでは、テラゾや木製の床で清潔にする必要があります。 メカニカルポンプの排気ガスが実験室の環境を汚染するのを防ぐため、ポンプの排気口に排気管(金属管、ゴム管)を設置して排気を行ってください。


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