電子ビーム蒸着装置

- Sep 12, 2018-

 

電子ビームと熱蒸発システム。惑星または単純な回転段階は、基板サイズや素材によって、950 ° C 以上の温度に加熱を含めることができます。IBAD 基板洗浄済みのイオン源は、同様のシステムに統合できます。蒸発システムは、完全なポンプ、手動または電気-空気圧バルブ、すべての真空計、電源分配ボックス、電子ラック、水と空気のマニホールド、安全インター ロックが付属します。システムは、手動またはコンピューター制御で操作できます。標準基板の形およびサイズの基板ヒーターとマニピュレーターを設計できます。アプリケーションは、基本的な材料の研究を含む、デバイス、シリコンや GaAs ウェハ メタライゼーション、MEMS やディスプレイ技術などを見た。

 

多くのシステム オプションがあり、電子ビームや熱の源の広い範囲を含む、電源装置、イオンビームやマグネトロンの統合スパッタ源、RGA の超高真空機能、複数ウェハのロード ロック、その場でモニターします。

01.jpg