拡散ポンプの概念と一般的なタイプ

- Aug 15, 2019-

拡散ポンプのコンセプトと一般的なタイプ

 

拡散ポンプは、スロートで高速蒸気直接噴射ポンプを使用して、排気の底部でガス分子をポンプに分解します。 1915年にWolfgang gaidがホストし、水銀蒸気を使用して、気体分子を移動する高真空フリーの分子流であり、従来の流体力学よりも拡散についてよりよく理解できます。 Gadは、拡散ポンプ設計という名前を使用しました。これは、蒸気流に基づいてガスを拡散することはできず、排気ガスによってガスが実行されることを発見したため です。 ただし、拡散が重要な役割を果たしているため、および他の高真空ポンプでは、ジェットポンプの動作原理を空気によってより正確に説明できます。 現代の教科書では、拡散ポンプは運動量移送ポンプとして分類されています。 拡散ポンプは、産業および研究用途で広く使用されています。 最新の拡散ポンプのほとんどは、作動媒体として使用されます。 セシル・レボッキは1928年にシリコーンオイルを使用する可能性を発見しました。

 

油拡散ポンプ

オイル拡散ポンプは、低蒸気圧オイルで動作します。 その目的は、可能な容積よりも容積の大きいポンプのみを使用して、より高い真空(低圧)を達成することです。 その使用は主に高真空範囲(最低10-9 mbar)に関連していますが、現在の拡散ポンプは、最新の流体とアクセサリーで適切な場合に10-10 mbarに近い圧力を生成します。 拡散ポンプの高さと超高真空を魅力的なものにしているのは、同じ真空範囲で使用される他のタイプのポンプよりも、すべてのガスを排気し、単価あたりの排気速度が低いことです。 拡散ポンプは大気中に直接排出できないため、通常、前段の機械式ポンプを使用して約0.1 mbarの出口圧力を維持します。

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6インチの油拡散ポンプと油拡散ポンプの動作原理図

 

高速ジェットは沸騰する液体を生成し、ジェットスチームを通してアセンブリをガイドします。 内部のノズルは層流から超音速および分子に変わります。 通常、ポンプ操作を強化するために戦闘機で使用されます。 拡散ポンプは、外部冷却または空気流または送水管を使用します。 拡散ポンプシェルの外側の蒸気ジェット冷却の影響により、作動流体は濃縮、回収され、ボイラーに戻されます。 ポンピングガスは、圧縮アシストフロントステージメカニカルポンプと排気された環境圧力が実行される拡散ポンプアウトレットを介して、ベースの圧力を高めながらポンプに流入し続けます。

 

ターボ分子ポンプや極低温ポンプとは異なり、拡散ポンプには可動部品がないため、非常に耐久性があり、信頼性があります。 圧力下で10-10〜10-2ミリバールの範囲で動作できます。 それらは対流のみを駆動でき、これはエネルギーにとって非常に非効率的です。

 

拡散ポンプの主な欠点の1つは、逆流オイルが真空チャンバーに流入する傾向があることです。 このオイルは、バックワイヤの表面または内部をホットワイヤで汚染したり、接点を放電したりして、カーボンやシリコンの堆積を引き起こす可能性があります。 逆流のため、油拡散ポンプは高感度分析機器や非常にクリーンな真空環境を必要とする他のアプリケーションでの使用には適していませんが、水銀拡散ポンプは水銀析出のある超高真空チャンバーで使用される場合があります。 通常、コールドトラップとバッフルは、逆流を最小限に抑えるために使用されますが、場合によってはポンプ能力が失われます。

 

油拡散ポンプの動作におけるよくある間違いは、高温の油接触の雰囲気です。 これが起こると、オイルが燃えて交換されます。 システムは、大気と接触する前に常に室温まで冷却する必要があります。

 

拡散ポンプの主な欠点の1つは、逆流オイルが真空チャンバーに流入する傾向があることです。 このオイルは、バックワイヤの表面または内部をホットワイヤで汚染したり、接点を放電したりして、カーボンやシリコンの堆積を引き起こす可能性があります。 逆流のため、油拡散ポンプは高感度分析機器や非常にクリーンな真空環境を必要とする他のアプリケーションでの使用には適していませんが、水銀拡散ポンプは水銀析出のある超高真空チャンバーで使用される場合があります。 通常、コールドトラップとバッフルは、逆流を最小限に抑えるために使用されますが、場合によってはポンプ能力が失われます。

 

油拡散ポンプの動作におけるよくある間違いは、高温の油接触の雰囲気です。 これが起こると、オイルが燃えて交換されます。 システムは、大気と接触する前に常に室温まで冷却する必要があります。

 

スチームジェットポンプ

 

スチームエジェクターは、拡散真空蒸留および凍結ポンプの一般的な乾燥機です。 スチームジェットポンプは、スチーム真空チャンバーから取り外さなければならないと考えられています。 蒸気エジェクターには1つ以上のステージがあり、ステージ間にコンデンサーインチはありません。

 

圧縮空気噴射ポンプ

その中でも、拡散真空ポンプは多段圧縮駆動のジェットエアです。 これは、オブジェクトが全体に移動され、真空吸盤ラインで使用されるアプリケーションで非常に人気があります。

IKS PVD、中国の真空コーティング機メーカー、今すぐお問い合わせください、iks.pvd @ foxmail.com

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