分子ポンプ開発の歴史の開発の歴史

- May 23, 2018-

1 初期の分子ポンプ


1912 年に W.Gaede というドイツ語を発明した世界最初の分子ポンプ、そのローターの直径は 50 mm とローターの異なるサイズで 8 スロットがあります。回転速度は 12、000r/分、排気速度が約 1.5 L/s。この初期のポンプの動作原理は現代分子ポンプと同じが、ない普及しているので、多くの失敗の原因は排除迅速に。


1926 年に、M. Siegbahn はスウェーデンの大学研究室のディスク型の分子ポンプを開発しました。その構造は、近代ドラッグ型の分子ポンプに似ています。ポンプ本体にはスパイラル溝とローターがディスク。1939 年にル太字が 540 mm の直径を持つ 2 つのポンプを生産しました。溝の寸法は、内側に 22 mm × 22 mm と 22 mm × 1 mm 外側に。回転速度は 3、700r/分、排気速度は 73 L/s。


初期の分子ポンプは、すべて牽引型分子ポンプです。大量の欠点、低速度、小さなギャップや多くの欠陥をポンプ、アプリケーションでは、多くの制限があり、従ってそれいくつかの特別なフィールドでのみ使用できます普及されていません。



2. ターボ分子ポンプの誕生


1957 年には、ファイファー社ドイツの w. ベッカーは新しい分子ポンプ、ターボ分子ポンプの名前を発明しました。水平構造とポンプ キャビティが動的および静的の翼を装備します。ガスは、ポンプの中心に吸気ポートを通って入り、ポンプ本体の両側に吸引チャンネルが流れます。葉の配列で圧縮されて後、排気ポートで圧縮空気を放出します。このターボ分子ポンプのローターは、19 の翼列で構成されます。図 2 に示すように、直径が 170 mm、回転速度は 16、140 L/s は、排気速度 000r/分。


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1966 年にフランスの SENCMA 株式会社開発 14 ブレード行垂直ターボ分子ポンプ、ローター直径は 286 mm、回転速度は 12、000r/分、排気速度は 650 L/s、垂直ターボ分子ポンプのパイオニアを作成します。


設計および分子ポンプを生成する強力な能力を持つ日本の分子ポンプの多くのメーカーがあります。1971 年に理化学日本化学研究 13 の回転羽根行分子ポンプと 12 の固定ベーン回転分子ポンプの開発に成功、ローター径が 300 mm と回転速度 is12, 000 r/min。1990 年に日本の大阪真空最初の開発に成功 25,000 L/s の排気速度を持つ大規模な分子ポンプ。


現在、現代分子ポンプの基本構造は水平および垂直です。水平方向の分子ポンプ ベアリング交換、メンテナンス中にローター、良いベアリング位置決め力状態、長寿命、固定ローター位置の均一な力の利点があります。近年垂直分子ポンプの開発速度は非常に速いので、垂直分子ポンプの組立工程は水平分子ポンプよりも簡単です。



3. 現代分子ポンプ


分子ポンプの誕生以来、100 年近くの歴史があった。様々 な科学技術の継続的な進歩により、多くの技術革新と進歩分子ポンプ技術、またしました。現代分子ポンプよりインテリジェントで柔軟かつ効率的です。


制御理論とコンピューター技術と応用分子ポンプの急速な発展、近年分子ポンプがされているコンピューターによって制御され、ポンプのリモート コントロールを実現します。同時に、情報技術に基づく安全性と監視システムにつながっているインテリジェンスの方向に分子ポンプの開発。


排気速度は、分子ポンプのコア パラメーターです。回転速度の増加は、ポンプの速度を増加する最も直接的な方法のひとつです。動的分散技術の発展に伴い、分子ポンプ ロータは、超高速でスムーズに操作できます。材料科学の発展に伴い、分子ポンプ ロータの素材も変わって、硬質アルミ合金、炭素繊維、チタン合金と回転子の回転速度をさらに高めた他の高硬度材にすることができます。


近年、半導体産業の発展に伴い分子ポンプが継続的に高圧の環境で大量のガスを排気し、多くの場合クリーンな真空を確認する必要です。このような環境で伝統的なターボ分子ポンプの性能がたくさん落ちたし、設計結果を保証することは困難です。分子ポンプ高圧作業環境に適応するのには、トラクション分子ポンプ部が元のターボ分子ポンプに追加され、ターボ分子ポンプ及び後続の分子ポンプ、複合体を形成する直列接続ターボ分子ポンプと末尾の分子ポンプの両方の利点を (図 3 に示すように)、分子ポンプです。


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さらに、新しい型の分子ポンプの数は、近年、水の分子、強力な磁場と強力な防錆の下で動作することができますセラミックの分子ポンプを効率的に抽出することができます低温分子ポンプなど浮上しています。条件、および磁気浮上非接触サポート、高効率、高寿命の利点を持つ分子ポンプ。